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一种不锈钢蚀刻工艺

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610123185.0
  • IPC分类号:C23F1/28;C23F1/02
  • 申请日期:
    2006-10-31
  • 申请人:
    佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司
著录项信息
专利名称一种不锈钢蚀刻工艺
申请号CN200610123185.0申请日期2006-10-31
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-05-07公开/公告号CN101173360
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23F1/28IPC分类号C;2;3;F;1;/;2;8;;;C;2;3;F;1;/;0;2查看分类表>
申请人佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司申请人地址
广东省佛山市顺德区伦教集约工业区科技路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司当前权利人佛山市顺德区汉达精密电子科技有限公司
发明人李三旭
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明提供一种不锈钢蚀刻工艺,该工艺主要包括以下步骤:a.前处理,用以将初始不锈钢工件进行清洗、除油等表面清洁;b.涂布,将该不锈钢工件其表面涂覆感光胶,再进行曝光、显影及坚膜等处理;c.蚀刻,利用不锈钢蚀刻溶液腐蚀该不锈钢工件之暴露金属部位,其中所采用的不锈钢蚀刻溶液主要包括:三氯化铁400~600g/L、盐酸2~5g/L、氟化氢铵1~2g/L、硫脲2.5~5g/L、蚀刻促进剂1~5g/L、再生剂2~5g/L;d.脱膜,待上述腐蚀到一定程度,再将其表面剩余的胶膜用溶解液去掉,最后清洗得到产品。藉此,该工艺具有蚀刻速度快,精度高,蚀刻液可再生,制程简单等特点,具有广泛的应用前景。

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