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隔振地基精密调平系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810120404.9
  • IPC分类号:E02D31/08
  • 申请日期:
    2008-08-26
  • 申请人:
    中国计量学院
著录项信息
专利名称隔振地基精密调平系统
申请号CN200810120404.9申请日期2008-08-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-01-28公开/公告号CN101353897
优先权暂无优先权号暂无
主分类号E02D31/08IPC分类号E;0;2;D;3;1;/;0;8查看分类表>
申请人中国计量学院申请人地址
浙江省杭州市下沙高教园区学源街 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国计量学院当前权利人中国计量学院
发明人李东升;叶树亮;满楠
代理机构杭州求是专利事务所有限公司代理人林怀禹
摘要
本发明公开了一种隔振地基精密调平系统。隔振地基下底面由空气弹簧支撑,精密光学隔振平台放置于隔振地基上,精密光学隔振平台上放置一个或两个用以测量两互相垂直方向上隔振平台与绝对水平面夹角的水平监测器,虚腿监测装置分别与各自的空气弹簧相连接,水平监测器和虚腿监测装置的输出端分别与控制器的输入端连接,控制器的输出端与各个控制阀连接,每个控制阀的气路接口分别与各自的空气弹簧相连,供气装置分别对每个控制阀供气。本发明实现二级隔振,隔振平台具有高精度平面度,满足各种精密仪器对环境的要求;控制阀实现空气弹簧充气过程中的微量进气,提高调平精度,并能维持系统稳定。它适用于超精密测量、超精密加工。

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