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偏转器及其制造方法和应用偏转器的带电粒子束曝光装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200410007276.9
IPC分类号：H01J37/04;G03G15/04;G03G15/043
申请日期：
2004-02-27
申请人：
佳能株式会社;株式会社日立高新技术

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法律信息

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著录项信息

专利名称	偏转器及其制造方法和应用偏转器的带电粒子束曝光装置
申请号	CN200410007276.9	申请日期	2004-02-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-01	公开/公告号	CN1525259
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/04 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;4;;;G;0;3;G;1;5;/;0;4;;;G;0;3;G;1;5;/;0;4;3查看分类表>
申请人	佳能株式会社;株式会社日立高新技术	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社,株式会社日立高新技术	当前权利人	佳能株式会社,株式会社日立高新技术
发明人	小野治人;赤池正刚;玉森研尔;广濑太;小山泰史;寺崎敦则;长永兼一;中山义则
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	王永刚

摘要

偏转器备有具有多个贯通口、和用于控制通过该贯通口的带电粒子束的轨道，与该各贯通口的侧壁对置地设置的第1电极和第2电极构成的电极对的电极基片(400)、和为了在电极基片的各电极对上个别地加上电压，具有与各电极对连接的连接配线焊点的配线基片(500)，通过配线基片的连接配线焊点，接合地形成电极基片和配线基片。

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