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反射折射投影物镜

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110158559.3
  • IPC分类号:G02B17/08;G03F7/20
  • 申请日期:
    2005-01-13
  • 申请人:
    卡尔蔡司SMT有限责任公司
著录项信息
专利名称反射折射投影物镜
申请号CN201110158559.3申请日期2005-01-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-08-31公开/公告号CN102169226A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B17/08IPC分类号G;0;2;B;1;7;/;0;8;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人卡尔蔡司SMT有限责任公司申请人地址
德国上科亨 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司当前权利人卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人D·谢弗;W·乌尔里希;A·多多克;R·冯比瑙;H·-J·曼;A·埃普勒
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人邱军
摘要
一种投影物镜,用于将提供在所述投影物镜的物面中的图形成像到所述投影物镜的像面上,包括:第一物镜部分,用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像;第二物镜部分,用于将第一中间图像成像为第二中间图像;以及第三物镜部分,用于将第二中间图像成像到所述像面上;其中,所述投影物镜包括正好两个凹面镜和正好两个中间图像,并且其中,所述投影物镜是没有光瞳昏暗的清楚的系统。

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