一种静电吸附式微质量传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN201110216323.0
IPC分类号：G01G3/16
申请日期：
2011-07-31
申请人：
大连理工大学

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著录项信息

专利名称	一种静电吸附式微质量传感器
申请号	CN201110216323.0	申请日期	2011-07-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-01-04	公开/公告号	CN102305658A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01G3/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01G 称量 G01G3/00 以应用可产生弹性形变的元件为特征的称量仪器，例如弹簧秤 G01G3/12 其中称量部件当称量时处于受压力或张力作用的固体形式 G01G3/16 测量物体振荡频率的变化	IPC分类号	G;0;1;G;3;/;1;6查看分类表>
申请人	大连理工大学	申请人地址	辽宁省大连市高新园区凌工路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连理工大学	当前权利人	大连理工大学
发明人	刘书田;赵剑;高仁璟;黄毓
代理机构	大连星海专利事务所	代理人	花向阳

摘要

一种静电吸附式微质量传感器，属于精密传感技术领域。该传感器的多层梯形梁采用悬臂梁结构，作为微小质量测量的关键元件。多层梯形梁由导电弹性板、上绝缘薄膜、下绝缘薄膜和压电薄膜组成，且各层均为相同的梯形结构。导电弹性板带有均匀电荷，依靠静电力将微质量吸附于相应的测量敏感区域，进而通过测量结构的谐振频率变化得到区域内的质量。梯形结构作为敏感元件在提高传感器灵敏度的同时，利用静电吸附效应将微颗粒固定于多层梯形梁的测量敏感端，有效地避免了因悬臂梁谐振引起被测物脱落或相对振动而造成的测量误差，提高了测量准确度和重复可靠度，可广泛用于微小颗粒称重、危化品及食品安全检验以及微生物、细菌或病毒检测等领域。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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