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一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310634216.9
  • IPC分类号:G01N27/04
  • 申请日期:
    2013-11-29
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法
申请号CN201310634216.9申请日期2013-11-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-03-26公开/公告号CN103675034A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/04IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;0;4查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人刘欢;唐江;傅邱云;李敏;周东祥
代理机构武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)代理人方可
摘要
本发明公开了一种半导体电阻式气体传感器及其制备方法。制备方法包括如下步骤:(1)将半导体胶态量子点溶液涂覆在印有电极的绝缘衬底上,使其均匀成膜;(2)用短链配体溶液处理量子点薄膜;(3)去除残余的短链配体及其副产物;(4)多次重复执行步骤(1)至步骤(3),得到具有所需厚度的半导体胶态量子点薄膜,完成气体传感器的制备。上述方法中,也可以直接在绝缘衬底上成膜,在最后得到的半导体胶态量子点薄膜上制备电极。气体传感器包括绝缘衬底、电极和气敏层,气敏层为半导体胶态量子点薄膜。该气体传感器可在常温下检测气体浓度的瞬间或微量变化,响应恢复速度快且灵敏度高,安全便携,具有良好的应用前景。

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