一种微悬臂梁传感器及其制作方法发明专利
申请号：CN03109491.0
LOC分类号:G01D5/12
IPC结构图谱：
- F机械工程；照明；加热；武器；爆破
- F1一般工程
- F15流体压力执行机构；一般液压技术和气动技术
- F15B般流体工作系统；流体压力执行机构，如伺服马达；不包含在其他类目中的流体压力系统的零部件（马达、涡轮机、压缩机、鼓风机、泵入F01至F04；流体动力学入F15D；流体离合器或制动器入F16D；流体弹簧入F16F；流体传动装置入F16H；活塞、缸、密封入F16J；阀、输水器、旋塞、致动浮子入F16K；用于对主阀的辅助流体操纵的安全阀入F16K17/10；阀的流体操纵装置入F16K31/12；管子、管接头入F16L；润滑入F16N）
- F15B13/00伺服马达系统的元件（F15B 15/00优先）
- F15B13/02以适用于伺服马达的控制为特征的流体分配或供给装置（多路阀入F16K 11/00）
