一种等离子自动清洗设备及其工作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010661208.3
IPC分类号：B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67
申请日期：
2020-07-10
申请人：
昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种等离子自动清洗设备及其工作方法
申请号	CN202010661208.3	申请日期	2020-07-10
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-22	公开/公告号	CN111687144A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B7/00 不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法	IPC分类号	B;0;8;B;7;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市玉山镇北门路3232号3号房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山普乐斯电子科技有限公司,苏州优维毕光电科技有限公司,苏州艾斯林自动化科技有限公司	当前权利人	昆山普乐斯电子科技有限公司,苏州优维毕光电科技有限公司,苏州艾斯林自动化科技有限公司
发明人	郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞
代理机构	南京纵横知识产权代理有限公司	代理人	董建林

摘要

本发明涉及一种等离子自动清洗设备，属于半导体加工技术领域；其包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；本发明提供了一种等离子自动清洗设备及其工作方法，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供