尖顶型探头制造方法、尖顶型探头和尖顶型探头制造装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200980105981.3
IPC分类号：G01N13/14;G01N13/10;G11B5/02;G11B5/31
申请日期：
2009-02-18
申请人：
精工电子有限公司

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著录项信息

专利名称	尖顶型探头制造方法、尖顶型探头和尖顶型探头制造装置
申请号	CN200980105981.3	申请日期	2009-02-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2011-01-19	公开/公告号	CN101952707A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N13/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N13/14 （转入G01Q 60/02，G01Q 60/18）	IPC分类号	G;0;1;N;1;3;/;1;4;;;G;0;1;N;1;3;/;1;0;;;G;1;1;B;5;/;0;2;;;G;1;1;B;5;/;3;1查看分类表>
申请人	精工电子有限公司	申请人地址	日本千叶县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工电子有限公司	当前权利人	精工电子有限公司
发明人	朴马中;大海学
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	陈坚

摘要

本发明提供一种尖顶型探头制造方法，其能够容易且高效率地制造出尖顶型探头。关于在由顶面和侧面构成的锥台的所述侧面上具有金属膜的尖顶型探头的制造方法，该尖顶型探头制造方法包括以下工序：将形状与所述顶面相似的蚀刻掩模形成在基板上的工序；通过以所述蚀刻掩模为掩模部件对所述基板进行各向同性蚀刻来形成所述锥台的工序；在所述顶面的面积小于所述蚀刻掩模的面积后停止所述各向同性蚀刻的工序；以及通过使成膜粒子蔓延到所述蚀刻掩模和所述侧面之间来形成所述金属膜的工序。

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