卤代肟衍生物和其作为潜在的酸的用途

发明专利有效专利

申请号：
CN200480004559.6
IPC分类号：G03F7/004;C07C317/04;C07C251/32
申请日期：
2004-02-09
申请人：
西巴特殊化学品控股有限公司

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著录项信息

专利名称	卤代肟衍生物和其作为潜在的酸的用途
申请号	CN200480004559.6	申请日期	2004-02-09
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2006-03-22	公开/公告号	CN1751269
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/004 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;C;0;7;C;3;1;7;/;0;4;;;C;0;7;C;2;5;1;/;3;2查看分类表>
申请人	西巴特殊化学品控股有限公司	申请人地址	德国路德维希港变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西巴控股有限公司,巴斯夫欧洲公司	当前权利人	西巴控股有限公司,巴斯夫欧洲公司
发明人	H·亚马托;T·阿萨库拉;A·马特苏莫托;P·穆雷尔;T·欣特尔曼
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	刘维升;赵苏林

摘要

式(I)或(II)的化合物，其中R1是C1－C10卤代烷基磺酰基，卤代苯磺酰基，C2－C10卤代烷酰基，卤代苯甲酰基；R2是卤素或C1－C10卤代烷基；Ar1是苯基，联苯基，芴基，萘基，蒽基，菲基，或杂芳基，所有的这些都是任选被取代的；Ar′1是例如亚苯基，亚萘基，二亚苯基，亚杂芳基，氧基二亚苯基，亚苯基D－D1－D－亚苯基或－Ar″1－A1－Y1－A1－Ar″1－；其中这些基团是任选被取代的；Ar″1是亚苯基，亚萘基，亚蒽基，亚菲基，或亚杂芳基，所有的这些都是任选被取代的；A1是例如直接的键，－O－，－S－或－NR6－；Y1特别是C1－C18亚烷基；X是卤素；D是例如－O－，－S－或－NR6－；D1特别是C1－C18亚烷基；在ArF抗蚀剂技术中特别适合作为光致潜在的(photolatent)酸。

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