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一种用于硅片生产线的硅片料架传输换线机构及其方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310643528.6
  • IPC分类号:B65G47/57
  • 申请日期:
    2013-12-03
  • 申请人:
    北京七星华创电子股份有限公司
著录项信息
专利名称一种用于硅片生产线的硅片料架传输换线机构及其方法
申请号CN201310643528.6申请日期2013-12-03
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2014-03-26公开/公告号CN103662792A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/57IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;5;7查看分类表>
申请人北京七星华创电子股份有限公司申请人地址
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人李广旭;陈志兵;李补忠;张吉志;王广明
代理机构北京路浩知识产权代理有限公司代理人孟宪功
摘要
本发明涉及晶硅太阳能技术领域,特别涉及一种用于硅片生产线的硅片料架传输换线机构和硅片传输换线方法。一种用于硅片生产线的硅片料架传输换线机构,用于在高位传输线和低位传输线之间运送硅片料架,包括升降机构和传输机构,传输机构,包括传输动力部件、带轮和传送带;传输动力部件与所述带轮相连接,用于带动带轮旋转;传送带绕设在带轮上,带轮带动传送带运行,进而带动传送带上的硅片料架前进;升降机构包括升降动力部件,升降动力部件与传输机构相连接,用于带动传输机构在高位传输线的高度与低位传输线的高度之间升降。本发明各部件空间位置设置合理,实现了硅片料架在不同高度的换线换向运输,提高了硅片生产线传输设计时的灵活性。

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