一种振动环的生产工艺

1.一种振动环生产工艺，包括设计、制版、切料、清洗、涂墨烘干、曝光、显影、 固化、蚀刻、剥膜、清洗，其特征在于，包括下列步骤：
(1)、设计：
用CAD制图，制版按A＝T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；
(2)、制版：
采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5μm；
(3)、切料：
用剪板机将卷材切成板材；
(4)、清洗：
对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2-3％的稀硝酸中 进行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；
(5)、涂胶烘干：
将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上25ml左右的感光胶，使 感光胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热， 3-4min取出；
(6)、曝光：
将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间15-18s；
(7)、显影坚膜：
用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.10Mpa-0.15Mpa，显影时间30-40s， 显影完成后将板材放入4-6％的铬酸槽中浸泡25-30s，取出清水冲洗，再进入脱水机 80-90℃脱水；
(8)、固化：
固化过程采用烘箱，烘箱内温度200-220℃，固化时间300s-400s；
(9)、蚀刻：
采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12％，将产品置于自制的丝网 托架上进行蚀刻，对八个喷淋室中八个泵的上下压力重新比例分配，板材的下部压 力较上部压力大0.01MPa；根据腐蚀的特点，观察其穿孔的部位，在前部未穿孔时产 品互相有连接，腐蚀压力适当增大为0.09Mpa当穿孔后，使用小压力，对孔型进行 细小的修正，解决了产品在压力冲击下的飞溅问题；最终确定的蚀刻压力：
上部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；
下部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；
温度保持43℃-47℃，蚀刻时间3-5min；
(10)、剥膜：
剥膜使用购置的A、B型碱性剥膜液，先将产品连同丝网托架置于500-1000毫升 的A液中，下置一加热器，加热到90℃-100℃，倒入相当于A液1/3量的B液，迅 速反应，待表面胶膜脱净后取出清水冲洗；
(11)、清洗烘干：
取出后产品连同丝网托架进入脱水机80-90℃低温烘干。
2.根据权利要求1所述的振动环生产工艺，其特征在于，包括下列步骤：
(1)、设计：
用CAD制图，制版按A＝T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；
(2)、制版：
采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5μm；
(3)、切料：
用剪板机将卷材切成板材；
(4)、清洗：
对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2.2％的稀硝酸中 进行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；
(5)、涂胶烘干：
将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上22ml的感光胶，使感光 胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，3min 取出；
(6)、曝光：
将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间16s；
(7)、显影坚膜：
用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.11Mpa，显影时间30s，显影完成后 将板材放入4.5％的铬酸槽中浸泡25s，取出清水冲洗，再进入脱水机80℃脱水；
(8)、固化：
固化过程采用烘箱，烘箱内温度200℃，固化时间330s；
(9)、蚀刻：
采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12％，将产品置于丝网托架上 进行蚀刻，蚀刻压力：
上部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；
下部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；
温度保持44℃，蚀刻时间5min；
(10)、剥膜：
剥膜使用购置的A、B型碱性剥膜液，先将产品连同丝网托架置于600毫升的A 液中，下置一加热器，加热到90℃，倒入200毫升B液，迅速反应，待表面胶膜脱 净后取出清水冲洗；
(11)、清洗烘干：
取出后产品连同丝网托架进入脱水机80℃低温烘干。
3.根据权利要求1所述的振动环生产工艺，其特征在于，包括下列步骤：
(1)、设计：
用CAD制图，制版按A＝T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；
(2)、制版：
采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5μm；
(3)、切料：
用剪板机将卷材切成板材；
(4)、清洗：
对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为2.5％的稀硝酸中 进行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；
(5)、涂胶烘干：
将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上25ml的感光胶，使感光 胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，3.5min 取出；
(6)、曝光：
将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间17s；
(7)、显影坚膜：
用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.15Mpa，显影时间30s，显影完成后 将板材放入5％的铬酸槽中浸泡28s，取出清水冲洗，再进入脱水机85℃脱水；
(8)、固化：
固化过程采用烘箱，烘箱内温度210℃，固化时间300s；
(9)、蚀刻：
采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12％，将产品置于丝网托架上 进行蚀刻，蚀刻压力：
上部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；
下部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；
温度保持45℃，蚀刻时间4.5min；
(10)、剥膜：
剥膜使用购置的A、B型碱性剥膜液，先将产品连同丝网托架置于750毫升的A 液中，下置一加热器，加热到95℃，倒入250毫升B液，迅速反应，待表面胶膜脱 净后取出清水冲洗；
(11)、清洗烘干：
取出后产品连同丝网托架进入脱水机85℃低温烘干。
4.根据权利要求1所述的振动环生产工艺，其特征在于，包括下列步骤：
(1)、设计：
用CAD制图，制版按A＝T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度)；
(2)、制版：
采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过5μm；
(3)、切料：
用剪板机将卷材切成板材；
(4)、清洗：
对板材先用清洗剂进行清洗，然后用清水清洗，再置于浓度为3％的稀硝酸中进 行粗化，取出后依次用清水、纯水冲洗，置于纯水槽中；
(5)、涂胶烘干：
将材料放于旋转涂胶机中，开启旋转，在板材一面倒上28ml的感光胶，使感光 胶在离心作用下均匀涂于材料表面，同法涂另一面，涂好后开启旋转、加热，4min 取出；
(6)、曝光：
将涂胶干燥后的板材在菲林中间进行紫外线双面曝光，紫外线灯照度8-12W/cm2， 曝光时间18s；
(7)、显影坚膜：
用清水作为显影液，常温显影，显影压力0.15Mpa，显影时间40s，显影完成后 将板材放入6％的铬酸槽中浸泡30s，取出清水冲洗，再进入脱水机90℃脱水；
(8)、固化：
固化过程采用烘箱，烘箱内温度220℃，固化时间400s；
(9)、蚀刻：
采用蚀刻机FeCl3液喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度8-12％，将产品置于丝网托架上 进行蚀刻，蚀刻压力：
上部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.06，0.05，0.04MPa；
下部：0.09，0.09，0.09，0.08，0.07，0.07，0.06，0.05Mpa；
温度保持47℃，蚀刻时间5min；
(10)、剥膜：
剥膜使用购置的A、B型碱性剥膜液，先将产品连同丝网托架置于900毫升的A 液中，下置一加热器，加热到100℃，倒入300毫升B液，迅速反应，待表面胶膜脱 净后取出清水冲洗；
(11)、清洗烘干：
取出后产品连同丝网托架进入脱水机90℃低温烘干。

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