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晶圆掺杂物的图像分割方法、系统、计算机设备及存储介质

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910196050.4
  • IPC分类号:G06T7/00;G06T7/11
  • 申请日期:
    2019-03-15
  • 申请人:
    华南理工大学
著录项信息
专利名称晶圆掺杂物的图像分割方法、系统、计算机设备及存储介质
申请号CN201910196050.4申请日期2019-03-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-07-05公开/公告号CN109978843A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G06T7/00IPC分类号G;0;6;T;7;/;0;0;;;G;0;6;T;7;/;1;1查看分类表>
申请人华南理工大学申请人地址
广东省广州市天河区五山路381号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华南理工大学当前权利人华南理工大学
发明人胡跃明;黄丹;李璐
代理机构广州市华学知识产权代理有限公司代理人暂无
摘要
本发明公开了一种晶圆掺杂物的图像分割方法、系统、计算机设备及存储介质,所述方法包括获取晶圆图像;构建区域型变分水平集模型;将晶圆图像输入区域型变分水平集模型,利用区域型变分水平集模型的总体能量泛函对晶圆图像进行分割,输出得到晶圆掺杂物的图像;所述系统包括获取模块、构建模块和分割模块。本发明通过将受噪音影响的晶圆图像输入构建的区域型变分水平集模型,利用区域型变分水平集模型的总体能量泛函对该晶圆图像进行分割,可以从该晶圆图像中准确分割出晶圆掺杂物,并且有利于提高对比度低的图像分割精度。

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