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半导体散热板用Mo烧结部件以及使用该Mo烧结部件的半导体装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201280015801.4
  • IPC分类号:C22C27/04;C22C1/04;C22C9/00;H01L23/373
  • 申请日期:
    2012-03-19
  • 申请人:
    株式会社东芝;东芝高新材料公司
著录项信息
专利名称半导体散热板用Mo烧结部件以及使用该Mo烧结部件的半导体装置
申请号CN201280015801.4申请日期2012-03-19
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2013-12-11公开/公告号CN103443314A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C22C27/04IPC分类号C;2;2;C;2;7;/;0;4;;;C;2;2;C;1;/;0;4;;;C;2;2;C;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;3;/;3;7;3查看分类表>
申请人株式会社东芝;东芝高新材料公司申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社东芝,东芝高新材料公司当前权利人株式会社东芝,东芝高新材料公司
发明人森冈勉;青山齐
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人刘凤岭;陈建全
摘要
本发明涉及一种半导体散热板用Mo烧结部件,其由含有10~50质量%铜的钼合金材料构成,其特征在于:所述钼合金材料的钼晶体的平均粒径为10~100μm,每500μm×500μm单位面积的Mo晶体的面积比的偏差在平均值的±10%以内。由于Mo和Cu的存在比例的偏差较小,因而可以得到热膨胀率等特性优良、且热膨胀率、强度等优良的半导体散热板用Mo烧结部件。

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