一种用于工模具表面强化的纳米多层镀膜装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200510083078.5
IPC分类号：C23C14/22;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/35
申请日期：
2005-07-14
申请人：
北京东方新材科技有限公司

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专利名称	一种用于工模具表面强化的纳米多层镀膜装置
申请号	CN200510083078.5	申请日期	2005-07-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-05-31	公开/公告号	CN1778983
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/22 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;2;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	北京东方新材科技有限公司	申请人地址	北京市昌平区回龙观镇制版厂北区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京东方新材科技有限公司	当前权利人	北京东方新材科技有限公司
发明人	徐健;程云立;张云龙
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种用于工模具领域的纳米多层镀膜装置，其包括：真空室；圆筒形隔板支撑架，设有开口；至少四个隔板，安装于圆筒形隔板支撑架上且将真空室分隔成至少四个隔离室；中心抽气管，设有开口，设置于所述圆筒形隔板支撑架中；至少两个蒸发装置与至少一个离子源，设置于所述真空室的壁上；至少四个工件架，每个工件架分别安装于独立的所述隔离室中，所述工件架、圆筒形隔板支撑架和隔板可绕同一公转轴同步旋转；磁流体密封同心多轴传动装置；抽气口。本装置能沉积纳米多层膜并能对膜层成分和厚度进行调制，形成的多层膜中每一膜层成分单一，不同膜层之间能形成清晰尖锐的界面。本发明用于工模具及其他零部件的表面强化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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