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极紫外光光刻方法和系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110843435.2
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2021-07-26
  • 申请人:
    广东省智能机器人研究院
著录项信息
专利名称极紫外光光刻方法和系统
申请号CN202110843435.2申请日期2021-07-26
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-24公开/公告号CN113433805A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人广东省智能机器人研究院申请人地址
广东省东莞市松山湖园区学府路1号5栋 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东省智能机器人研究院当前权利人广东省智能机器人研究院
发明人吴寒;闻锦程;马修泉;王力波;孙克雄;马新敏;陆培祥
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人刘羚
摘要
本申请涉及一种极紫外光光刻方法、系统、计算机设备和存储介质。方法通过获取极紫外光光刻请求;根据极紫外光光刻请求生成液滴靶材,并生成液滴靶材对应的高功率激光;将高功率激光作用于液滴靶材,以使液滴靶材等离子体化,获取激光等离子体;将高功率激光和预设电磁场同时作用于激光等离子体,以使激光等离子体维持几何形态和激发状态;采集激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源,基于光刻光源完成极紫外光光刻请求对应的光刻任务。本申请将高功率激光和预设电磁场同时作用于激光等离子体,以使激光等离子体维持几何形态和激发状态,从而可以有效提高光刻光源的发光效率,从而保证紫外光光刻质量。

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