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在部件承载件材料中制造具有低偏移的通孔

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910100388.5
  • IPC分类号:H01L23/498;H01L21/48
  • 申请日期:
    2019-01-31
  • 申请人:
    奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司
著录项信息
专利名称在部件承载件材料中制造具有低偏移的通孔
申请号CN201910100388.5申请日期2019-01-31
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2020-08-07公开/公告号CN111508923A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/498IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;9;8;;;H;0;1;L;2;1;/;4;8查看分类表>
申请人奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司申请人地址
奥地利莱奥本 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司当前权利人奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司
发明人阿卜德尔拉扎克·伊菲斯;尼古劳斯·鲍尔
代理机构成都超凡明远知识产权代理有限公司代理人魏彦;洪玉姬
摘要
提供了一种部件承载件(100)和制造该部件承载件的方法,该部件承载件包括电绝缘层结构(102)和通孔(112),该通孔延伸穿过电绝缘层结构(102)并且包括在电绝缘层结构(102)的前侧(106)中的渐缩的第一部分孔(114)以及在电绝缘层结构(102)的后侧(110)中的渐缩的第二部分孔(120),其中,电绝缘层结构(102)的厚度(D)小于100μm,并且第一部分孔(114)的中心(116)与第二部分孔(120)的中心(118)之间的横向偏移(L)小于15μm。

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