纳弧度分辨率角位移测量装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN03230263.0
IPC分类号：--
申请日期：
2003-04-11
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	纳弧度分辨率角位移测量装置
申请号	CN03230263.0	申请日期	2003-04-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	张彩妮;王向朝
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

纳弧度分辨率角位移测量装置，包括：带有驱动电源的调制光源，沿着调制光源发出的光束的前进方向上放置着准直物镜和反射镜，在该反射镜的反射光束前进方向上放置被测转动镜面，该被测转动镜面反射光方向上放置一分束镜，该分束镜的端口b出射光束方向上依次放置第一F－P干涉仪、第一透镜和第一光电转换元件，该第一光电转换元件经第一模数转换器与计算机相连，分束镜端口c出射光束方向依次放置第二F－P干涉仪、第二透镜和第二光电转换元件，第二光电转换元件经第二模数转换器与计算机的相连，分束镜端口d放置第三光电转换元件并经图像采集卡与计算机相连。本实用新型的测量分辨率达到了纳弧度量级。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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