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一种点蒸发源卷绕镀膜机

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011623760.X
  • IPC分类号:C23C14/56;C23C14/24;C23C14/30
  • 申请日期:
    2020-12-31
  • 申请人:
    无锡光润真空科技有限公司
著录项信息
专利名称一种点蒸发源卷绕镀膜机
申请号CN202011623760.X申请日期2020-12-31
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-04-02公开/公告号CN112593202A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;3;0查看分类表>
申请人无锡光润真空科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市新吴区江溪街道锡义路79号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡光润真空科技有限公司当前权利人无锡光润真空科技有限公司
发明人陈自新;郑立冬;朱海锋;张艺馨;李伟
代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)代理人王晨光
摘要
本发明涉及镀膜机技术领域,具体涉及一种点蒸发源卷绕镀膜机。本发明包括移动小车,所述移动小车一侧设置有真空室,所述真空室内部设置有卷绕系统,所述真空室内部底面设置有蒸发源,所述真空室内部位于所述蒸发源上方设置有修正挡板。本发明结构合理、简单,操作便捷,移动小车与真空室形成真空系统,通过卷绕系统对卷镀膜基材进行展开以及回卷的工作,通过在蒸发源上方设置修正挡板,从而能够使得整个幅宽上进行均匀镀膜,大大的提高镀膜的效果。

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