显影机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020143293.X
IPC分类号：G03F7/30;H01L21/67
申请日期：
2020-01-22
申请人：
亚智科技股份有限公司

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专利名称	显影机
申请号	CN202020143293.X	申请日期	2020-01-22
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/30 用液体消除影像的〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;3;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	亚智科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾桃园市中坜区自强三路三号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	亚智科技股份有限公司	当前权利人	亚智科技股份有限公司
发明人	江家谊
代理机构	北京申翔知识产权代理有限公司	代理人	赵梦雯;艾晶

摘要

本实用新型揭露一种显影机，为一种针对扇出型面板级封装结构的玻璃基板进行黄光作业的显影机，本实用新型显影机包括一机壳、复数组压制机构、复数个边导轮、一第一药刀机构、一浸泡槽、一第二药刀机构，以及一第四传感器；借此，本实用新型的显影机主要借由压制机构与浸泡槽的硬件设计，有效使用压制机构的压制弹簧压制扇出型面板级封装结构的基板以避免翘取，再借由在籍传感器启动往复移动以完成显影作业，确实达到提高对基板的夹持力而避免射片与滑片造成破片的问题，以及制程过程中的基板整平性与均一性等主要优势。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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