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氧化钇稳定氧化铪真空镀膜材料的制法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410725109.1
  • IPC分类号:C04B35/48;C04B35/622
  • 申请日期:
    2014-12-03
  • 申请人:
    山东理工大学
著录项信息
专利名称氧化钇稳定氧化铪真空镀膜材料的制法
申请号CN201410725109.1申请日期2014-12-03
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2015-03-25公开/公告号CN104446458A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C04B35/48IPC分类号C;0;4;B;3;5;/;4;8;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2查看分类表>
申请人山东理工大学申请人地址
山东省淄博市高新技术产业开发区高创园D座1012室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东理工大学当前权利人山东理工大学
发明人吴师岗
代理机构济南舜源专利事务所有限公司代理人徐健
摘要
一种氧化钇稳定氧化铪的真空镀膜材料的制法,其特征是,包括以下步骤:1)以氧化铪和氧化钇粉料为原料,按摩尔比氧化铪:氧化钇=73~98:2~27,均匀混合,然后添加聚乙烯醇结合剂使粉料团聚,造粒;2)对颗粒料进行预烧,预烧温度为1260℃;3)在真空烧结炉中烧结,真空度为1×10-2~1×10-4帕,升温速率为3~8℃/分钟,到达1700~2280℃时保温,保温时间为150分钟以上,然后自然冷却降温至室温。本发明能够解决传统氧化铪镀膜材料镀膜过程中的不稳定和折射率不均匀性问题,同时提高氧化铪薄膜的损伤阈值。

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