感光性干膜抗蚀剂、使用了其的印刷配线板和印刷配线板的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200780002893.1
IPC分类号：G03F7/095;G03F7/004;G03F7/037;G03F7/075;H05K3/28
申请日期：
2007-01-23
申请人：
株式会社钟化

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法律信息

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著录项信息

专利名称	感光性干膜抗蚀剂、使用了其的印刷配线板和印刷配线板的制造方法
申请号	CN200780002893.1	申请日期	2007-01-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-02-18	公开/公告号	CN101371197
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/095 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/09 以细部结构为特征的，例如，基片层、辅助层（印刷版的基片层一般入B41N）〔5〕 G03F7/095 具有1个以上的感光层的（G03F 7/075优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;9;5;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;3;7;;;G;0;3;F;7;/;0;7;5;;;H;0;5;K;3;/;2;8查看分类表>
申请人	株式会社钟化	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社钟化	当前权利人	株式会社钟化
发明人	山中俊夫;冈田好史;小岛广平;野尻仁志
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	蒋亭;苗堃

摘要

本发明提供可以水系显影，析像清晰度、阻燃性、密合性、耐湿性、电可靠性、保存稳定性优异的感光性干膜抗蚀剂及其制造方法、以及它们的利用方法。通过使用至少包含第一感光层和第二感光层的多层结构的感光性干膜抗蚀剂，能够解决上述课题，其中，第一感光层含有(A1)粘合剂聚合物、(B1)(甲基)丙烯酸类化合物、(C1)光反应引发剂和(D1)阻燃剂作为必要成分，第二感光层含有(A2)粘合剂聚合物和(B2)(甲基)丙烯酸类化合物作为必要成分，基本上不含有(D2)阻燃剂，(D2)阻燃剂满足以下条件：将(D1)阻燃剂的重量相对于第一感光层的总重量的比例记为第一感光层的阻燃剂含有率，并将(D2)阻燃剂的重量相对于第二感光层的总重量的比例记为第二感光层的阻燃剂含有率时，第二感光层的阻燃剂含有率为0～10重量％，并且，将第一感光层的阻燃剂含有率记为100时，第二感光层的阻燃剂含有率为0～50。

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