用于清除不必要感光树脂的稀释剂组合物

发明专利无效专利

申请号：
CN99123665.3
IPC分类号：--
申请日期：
1999-11-03
申请人：
东进瑟弥侃株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于清除不必要感光树脂的稀释剂组合物
申请号	CN99123665.3	申请日期	1999-11-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2000-10-25	公开/公告号	CN1271113
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东进瑟弥侃株式会社	申请人地址	韩国仁川市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东进瑟弥侃株式会社	当前权利人	东进瑟弥侃株式会社
发明人	金柄郁;白志钦;吴昌一;李相大;金元来;柳终顺
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	张平元

摘要

本发明涉及在制造半导体元件的工艺中，用以清除Spin-ON-Glass和感光性树脂组合物的稀释剂组合物，其由丙二醇单烷基醚与单氧羧酸酯，烷基乙酸酯和烷基乳酸酯混合而成。旋转涂覆后，使用本发明的稀释剂组合物，可迅速、彻底地清除基板边缘部位或基板后部多余的涂覆液，从而提高产品收率。因能够彻底地清除再利用的基板表面上附着的残余物质，能够有效地使用基板。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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