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MOCVD设备、温度控制系统及控制方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210322271.X
  • IPC分类号:C23C16/52;C23C16/44
  • 申请日期:
    2012-09-04
  • 申请人:
    中晟光电设备(上海)有限公司
著录项信息
专利名称MOCVD设备、温度控制系统及控制方法
申请号CN201210322271.X申请日期2012-09-04
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2014-03-26公开/公告号CN103668128A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/52IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人中晟光电设备(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园区华佗路168号3幢B区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中晟光电设备(上海)股份有限公司当前权利人中晟光电设备(上海)股份有限公司
发明人赵辉;陈爱华;金小亮;张伟
代理机构上海信好专利代理事务所(普通合伙)代理人张静洁;徐雯琼
摘要
本发明公开一种温度控制系统,其包含:功率值计算单元,用于接收各个测温传感器检测的加热区域的温度值,根据该温度值计算各个加热区域对应的加热区域功率值;功率值转换单元,用于接收功率值计算单元输出的各个加热区域对应的加热区域功率值,并将加热区域功率值转换为各个加热单元对应的加热单元功率值后输出;功率输出单元,用于接收功率值转换单元转换输出的各个加热单元对应的加热单元功率值,根据该加热单元功率值向各个加热单元输出对应功率。本发明用于控制对象多、耦合作用强的场合,能使控制通道相互独立,实现解耦,提高系统控制精度。

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