加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

基板装配装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910219454.0
  • IPC分类号:G02F1/13
  • 申请日期:
    2015-11-10
  • 申请人:
    艾美柯技术株式会社
著录项信息
专利名称基板装配装置
申请号CN201910219454.0申请日期2015-11-10
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-08-02公开/公告号CN110082935A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/13IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3查看分类表>
申请人艾美柯技术株式会社申请人地址
日本茨城县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人艾美柯技术株式会社当前权利人艾美柯技术株式会社
发明人市村久;中泽良仁;齐藤正行;海津拓哉
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人许海兰
摘要
本发明提供基板装配装置。基板装配装置具有:多个粘附销(8),从上部基板面(3a)突出而保持上基板(K1);Z轴驱动机构,使粘附销(8)和上载物台(3)向下载物台行进;多个粘附销板(8a),安装有多个粘附销(8);以及上下移动机构(80),使粘附销板(8a)独立地相对上部基板面(3a)垂直动作,粘附销(8)以针对每个粘附销板(8a)设定的突出量从上部基板面(3a)突出而保持上基板(K1),在真空环境下,使粘附销(8)保持的上基板(K1)贴合到下基板,在下基板和上基板(K1)相贴合的时刻从上部基板面(3a)引入粘附销(8),通过上载物台(3)按压上基板(K1)和下基板。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供