卷对卷检查设备和使用该卷对卷检查设备的检查方法

1.一种卷对卷检查设备，包括：
展开单元，被构造为展开卷形物体；
第一检查单元，包括第一相机和第一真空板，第一相机被构造为拍摄从展开单元排出的物体的表面，第一真空板被构造为吸附物体的另一表面；
第二检查单元，包括第二相机和第二真空板，第二相机被布置在物体下方并被构造为拍摄已穿过第一检查单元的物体的所述另一表面，第二真空板被布置在物体上方并被构造为吸附物体的所述表面；
标记单元，被构造为在已穿过第二检查单元的物体上指示标记；
缠绕单元，被构造为以卷形缠绕已穿过标记单元的物体；
缓冲张力调节辊，被构造为通过自身重量挤压物体，被布置在展开单元、第一检查单元、第二检查单元、标记单元和缠绕单元之间的至少一个部分以将张力施加于物体；
重量平衡部分，被构造为沿与重力相反的方向将力施加于缓冲张力调节辊，以抵消缓冲张力调节辊的重量的一部分；和
辅助加压辊，向上推挤与第二真空板的至少一侧对应的物体的至少一侧，以使所述物体的所述至少一侧布置在比第二真空板的表面的位置高的位置。
2.如权利要求1所述的卷对卷检查设备，其中，所述展开单元包括：
卷安装部分，被构造为安装物体并沿物体的宽度方向移动；
对准检查部分，被构造为沿与物体的展开方向交叉的方向检测物体的移动；和控制部分，被构造为响应于由对准检查部分检测的物体的移动而移动卷安装部分。
3.如权利要求2所述的卷对卷检查设备，其中，所述展开单元的卷安装部分被构造为对物体进行真空吸附。
4.如权利要求1所述的卷对卷检查设备，还包括：控制单元，被构造为基于沿与物体的移动路径交叉的方向的关于缓冲张力调节辊的位置信息同步下面的操作中的至少两个操作：由展开单元展开卷形物体、由第一检查单元拍摄物体的表面、由第二检查单元拍摄物体的另一表面、由标记单元指示标记以及由缠绕单元以卷形缠绕物体。
5.如权利要求1所述的卷对卷检查设备，其中，所述重量平衡部分包括：
带，带的一侧连接到缓冲张力调节辊；
滑轮，驱动带以使连接到带的一侧的缓冲张力调节辊移动；和
重物，连接到带的另一侧，以沿与重力相反的方向将力施加于缓冲张力调节辊。
6.如权利要求1所述的卷对卷检查设备，其中，所述缓冲张力调节辊被布置为沿与物体的传送方向交叉的方向可移动，以及
其中，所述卷对卷检查设备还包括检测部分，所述检测部分被构造为检测缓冲张力调节辊的位置。
7.如权利要求6所述的卷对卷检查设备，还包括：
带，带的一侧连接到缓冲张力调节辊；和
滑轮，被构造为驱动带，以移动连接到带的一侧的缓冲张力调节辊，
其中，检测部分包括布置在滑轮上的旋转编码器。
8.如权利要求1所述的卷对卷检查设备，其中，所述第一检查单元包括第一往复式辊，第一往复式辊布置在第一真空板的前侧和后侧中的至少一侧并且被布置为在第一位置和第二位置之间可移动，在第一位置，物体接触第一真空板，在第二位置，物体与第一真空板分离，
其中，第二检查单元包括第二往复式辊，第二往复式辊布置在第二真空板的前侧和后侧中的至少一侧并且被布置为可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置，物体接触第二真空板，在第二位置，物体与第二真空板分离。
9.如权利要求1所述的卷对卷检查设备，其中，所述第一相机和第二相机中的至少一个被布置为沿物体的长度方向和物体的宽度方向中的至少一个方向可移动，其中，所述卷对卷检查设备还包括照明部分，照明部分结合到第一相机和第二相机中的至少一个相机并且与所述至少一个相机一体地移动，以将光发射到物体上。
10.如权利要求9所述的卷对卷检查设备，其中，所述照明部分包括：
半透明镜，布置在第一相机和第二相机中的至少一个与物体之间；和
侧照明单元，被构造为将光发射到半透明镜上，
其中，从侧照明单元发射的光由半透明镜反射到物体上，
其中，由物体反射的光穿过半透明镜并入射到第一相机和第二相机中的至少一个上。
11.如权利要求9所述的卷对卷检查设备，还包括：吹风机，结合到第一相机和第二相机中的至少一个相机并且与所述至少一个相机一体地移动以将空气喷射到物体上。
12.一种卷对卷检查方法，包括：
展开卷形物体；
将物体吸附到第一真空板上并拍摄展开的物体的表面，以检查所述表面；
将物体吸附到第二真空板上并拍摄物体的另一表面，以检查所述另一表面；
根据所述表面检查过程和所述另一表面检查过程的检查结果确定在物体上是否存在缺陷；
在确定之后在物体上标记缺陷的存在或不存在；以及
以卷形缠绕已被标记缺陷的存在或不存在的物体，
所述方法还包括：设置辅助加压辊、缓冲张力调节辊和重量平衡部分，辅助加压辊向上推挤与第二真空板的至少一侧对应的物体的至少一侧，以使所述物体的所述至少一侧布置在比第二真空板的表面的位置高的位置，缓冲张力调节辊通过自身重量挤压物体，重量平衡部分沿与重力相反的方向将力施加于缓冲张力调节辊，以抵消缓冲张力调节辊的重量的一部分。
13.如权利要求12所述的卷对卷检查方法，其中，缓冲张力调节辊沿与物体的移动路径交叉的方向可移动地布置，以增加或减小物体的移动路径的长度。
14.如权利要求13所述的卷对卷检查方法，还包括：沿与物体的移动路径交叉的方向检测缓冲张力调节辊的位置；以及
基于关于检测到的缓冲张力调节辊的位置的信息，同步下面的操作中的至少两个操作：展开卷形物体、拍摄物体的表面、拍摄物体的另一表面、确定是否存在缺陷、标记缺陷的存在或不存在以及缠绕物体。
15.如权利要求14所述的卷对卷检查方法，其中，检查所述表面的步骤和检查所述另一表面的步骤中的至少一个步骤包括：在用于检查的检查设备沿物体的长度和宽度方向移动的同时扫描物体，
其中，扫描物体的步骤包括：通过使用结合到检查设备的吹风机从物体的表面和另一表面中的至少一个表面去除杂质。

卷对卷检查设备和使用该卷对卷检查设备的检查方法\n[0001] 本申请要求于2012年11月23日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0133936号韩国专利申请的优先权，其全部公开通过引用包含于此。\n技术领域\n[0002] 根据示例性实施例的设备和方法涉及卷形产品的卷对卷(reel-to-reel)检查。\n背景技术\n[0003] 用于以视觉方式检查平面产品(诸如，印刷电路板(PCB)或柔性PCB)的检查设备已被广泛用在许多工业领域中。这些检查设备被分类为用于检查被不连续地供应给检查设备的板形物体的面板类型检查设备和用于检查被连续地供应给检查设备的卷形物体的卷对卷类型检查设备。\n[0004] 由于卷对卷类型检查设备用于在连续地供应物体的同时检查物体，所以检查速度很快。此外，当检查完成时，物体可被再次以卷形缠绕以提高分配和处理效率。此外，随着近年来对柔性卷形电子部件(诸如，PCB)的需求增加，对卷对卷类型检查设备的需求也增加。\n[0005] 这种卷对卷检查设备可用于检查物体的一个表面或两个表面。在检查物体的两个表面的情况下，顺序检查各表面。也就是说，在完成对物体的一个表面的检查之后，执行对物体的另一表面的检查。因此，可分开地执行检查过程，并且在一些情况下，可能需要用于翻转物体的过程。\n发明内容\n[0006] 一个或多个示例性实施例提供一种用于同时检查卷形目标物体的两个表面以便简单而快速地执行检查过程的卷对卷检查设备和一种卷对卷检查方法。\n[0007] 根据示例性实施例的一方面，提供一种卷对卷检查设备，所述卷对卷检查设备包括：展开单元，被构造为展开卷形物体；第一检查单元，被构造为拍摄从展开单元排出的物体的表面；第二检查单元，被构造为拍摄已穿过第一检查单元的物体的另一表面；标记单元，被构造为在已穿过第二检查单元的物体上指示标记；和缠绕单元，被构造为以卷形缠绕已穿过标记单元的物体。\n[0008] 展开单元可包括：卷安装部分，被构造为安装物体并沿物体的宽度方向移动；对准检查部分，被构造为沿与物体的展开方向交叉的方向检测物体的移动；和控制部分，被构造为响应于由对准检查部分检测的物体的移动而移动卷安装部分。\n[0009] 展开单元的卷安装部分可对物体进行真空吸附。\n[0010] 挤压物体的缓冲张力调节辊可被布置在展开单元、第一检查单元、第二检查单元、标记单元和缠绕单元之间的至少一个部分以将张力施加于物体。\n[0011] 缓冲张力调节辊可经自身重量挤压物体，并且可提供沿与重力相反的方向将力施加于缓冲张力调节辊的重量平衡部分，以抵消缓冲张力调节辊的重量的一部分。\n[0012] 重量平衡部分可包括：带，带的一侧连接到缓冲张力调节辊；滑轮，驱动带以移动连接到带的一侧的缓冲张力调节辊；和重物，连接到带的另一侧，以沿与重力相反的方向将力施加于缓冲张力调节辊。\n[0013] 缓冲张力调节辊可被布置为沿与物体的传送方向交叉的方向可移动，并且卷对卷检查设备可还包括检测缓冲张力调节辊的位置的检测部分。\n[0014] 卷对卷检查设备可还包括：带，带的一侧连接到缓冲张力调节辊；和滑轮，驱动带，以移动连接到带的一侧的缓冲张力调节辊，其中，检测部分可包括布置在滑轮上的旋转编码器。\n[0015] 卷对卷检查设备可还包括：重物，连接到带的另一侧以抵消缓冲张力调节辊的重量。\n[0016] 第一检查单元可包括第一相机和第一真空板，第一相机拍摄物体的表面，第一真空板吸附物体的另一表面，其中，第二检查单元可包括第二相机和第二真空板，第二相机拍摄物体的另一表面，第二真空板吸附物体的表面。\n[0017] 第二检查单元的第二真空板可布置在物体上方，并且第二检查单元的第二相机可布置在物体下方，其中，卷对卷检查设备可还包括辅助加压辊，辅助加压辊向上推挤与第二真空板的至少一侧对应的物体的至少一侧，以使所述物体的上述至少一侧布置在比第二真空板的表面的位置高的位置。\n[0018] 第一检查单元可包括第一往复式辊，第一往复式辊布置在第一真空板的前侧和后侧中的至少一侧以便在第一位置和第二位置之间可移动，在第一位置，物体接触第一真空板，在第二位置，物体与第一真空板分离，并且第二检查单元可包括第二往复式辊，第二往复式辊布置在第二真空板的前侧和后侧中的至少一侧以便在第一位置和第二位置之间可移动，在第一位置，物体接触第二真空板，在第二位置，物体与第二真空板分离。\n[0019] 第一相机和第二相机中的至少一个可被布置为可沿物体的长度方向和物体的宽度方向中的至少一个方向移动，其中，卷对卷检查设备可还包括照明部分，照明部分结合到第一相机和第二相机中的至少一个相机并且与所述至少一个相机一体地移动以将光发射到物体上。\n[0020] 照明部分可包括：半透明镜，布置在第一相机和第二相机中的至少一个与物体之间；和侧照明单元，将光发射到半透明镜上，其中，从侧照明单元发射的光可由半透明镜反射到物体上，并且由物体反射的光可穿过半透明镜并入射到第一相机和第二相机中的至少一个上。\n[0021] 根据本发明的另一方面，提供一种卷对卷检查方法，所述卷对卷检查方法包括：展开卷形物体；拍摄展开的物体的表面以检查所述表面；拍摄物体的另一表面以检查所述另一表面；根据所述表面检查过程和所述另一表面检查过程的检查结果确定在物体上是否存在缺陷；在确定之后在物体上标记缺陷的存在或不存在；以及以卷形缠绕已被标记缺陷的存在或不存在的物体。\n[0022] 所述表面检查过程可还包括将物体吸附到第一真空板上以检查所述表面，并且所述另一表面检查过程可还包括将物体吸附到第二真空板上以检查所述另一表面。\n[0023] 卷对卷检查方法可还包括：增加或减小布置在展开单元、第一检查单元、第二检查单元、标记单元和缠绕单元之间的至少一个部分的物体的移动路径的长度。\n[0024] 缓冲张力调节辊可沿与物体的移动路径交叉的方向可移动地布置，以增加或减小物体的移动路径的长度。\n[0025] 卷对卷检查方法可还包括：沿与物体的移动路径交叉的方向检测缓冲张力调节辊的位置；以及基于关于检测到的缓冲张力调节辊的位置的信息，同步下面的操作中的至少两个操作：展开卷形物体、拍摄物体的表面、拍摄物体的另一表面、确定是否存在缺陷、标记缺陷的存在或不存在以及缠绕物体。\n[0026] 检查所述表面的步骤和检查所述另一表面的步骤中的至少一个步骤可包括：在用于检查的检查设备沿物体的长度和宽度方向移动的同时扫描物体，其中，所述扫描物体的步骤可包括：通过使用结合到检查设备的吹风机从物体的表面和另一表面中的至少一个表面去除杂质。\n附图说明\n[0027] 通过参照附图详细描述示例性实施例，以上和其它特点将会变得更加清楚，其中：\n[0028] 图1是根据示例性实施例的卷对卷检查设备的示意图；\n[0029] 图2是示出根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的展开单元的示意图；\n[0030] 图3是示出根据示例性实施例的当沿另一方向观察时的图1的卷对卷检查设备的展开单元的示意图；\n[0031] 图4是示出根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的重量平衡部分的示意图；\n[0032] 图5是示出根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的第一检查单元的示意图；\n[0033] 图6是示出根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的照明部分的示意图；\n[0034] 图7是示出物体被安放在根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的第一检查单元中的真空板上的过程的示意图；\n[0035] 图8是示出在用于根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备中的第一检查单元内拍摄物体之前去除杂质的部分的示意图；\n[0036] 图9是示出根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的第二检查单元的示意图；\n[0037] 图10是示出根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的标记单元的示意图；\n[0038] 图11是示出根据示例性实施例的图1的卷对卷检查设备的缠绕单元的示意图；和[0039] 图12是根据示例性实施例的卷对卷检查方法的示意性流程图。\n具体实施方式\n[0040] 以下，将参照附图描述根据示例性实施例的卷对卷检查设备。\n[0041] 图1是根据示例性实施例的卷对卷检查设备的示意图。参照图1，卷对卷检查设备1包括：展开单元100、第一检查单元200、第二检查单元300、标记单元400和缠绕单元500。在根据当前实施例的卷对卷检查设备1中，展开单元100、第一检查单元200、第二检查单元\n300、标记单元400和缠绕单元500可根据需要被一体地装配到一个或多个单元中。可选择地，展开单元100、第一检查单元200、第二检查单元300、标记单元400和缠绕单元500可根据需要被设置为彼此分离的单元。\n[0042] 当卷形物体T被安装在展开单元100上时，展开单元100可松开并展开物体T。根据当前实施例的物体T可以是任何卷形物体。例如，物体T可以是柔性PCB或柔性显示器。在当前实施例中，物体T可具有大约510mm的宽度。此外，物体T的进给速度可被设置为大约每分钟1.2米。\n[0043] 图2是展开单元100的示意图。参照图2，展开单元100包括：壳体101、卷安装部分\n110、保护膜卷安装部分120、对准检查部分130和控制部分140。\n[0044] 在壳体101中容纳卷安装部分110、保护膜卷安装部分120和对准检查部分130。此外，高效微粒空气(HEPA)过滤器102布置在壳体101的上部。HEPA过滤器102在壳体101的上侧吸入空气并强制性地使空气在壳体101中流动。此外，HEPA过滤器102过滤空气中所包含的细小杂质。此外，HEPA过滤器102强制性地使空气朝着壳体101的下侧运动，以保持壳体\n101内的空气的下游流动。当如上所述在壳体101内产生下游流动时，壳体101内的空气中所包含的漂浮物可下沉到壳体101的底部。因此，壳体101的内部可被保持在高度清洁状态。然而，根据另一示例性实施例，HEPA过滤器可布置在壳体101的不同部分，并且以不同方式使空气流动并且过滤空气。\n[0045] 卷安装部分110可以是这样的部分：具有卷形的物体T被安装在该部分上。卷安装部分110可旋转地支撑物体T，以使得在旋转时松开物体T。图3是当沿物体T的展开方向(X方向)观察时的图2的展开单元100的示意图，假设展开单元100不包括以下描述的缓冲张力调节辊105和106。参照图3，卷安装部分110在其外表面中具有多个吸附孔111以防止物体T的卷滑动。因此，卷安装部分110可对物体T的卷进行真空吸附。卷安装部分110的旋转可由电机116控制。\n[0046] 卷安装部分110结合到移动框架114。移动框架114可沿卷安装部分110的长度方向(即，沿物体T的宽度方向或Y方向)朝前或朝后移动。可由线性运动(LM)引导件116沿直线方向引导移动框架114的移动。此外，移动框架114的移动量可由线性致动器118控制。各种线性驱动装置(诸如，线性电机、连接到电机的滚珠丝杠、空气活塞等)可被用作线性致动器\n118。线性致动器118连接到控制部分140。因此，线性致动器118的操作时间和移动量可由控制部分140控制。也就是说，控制部分140可控制线性致动器118，以控制卷安装部分110的位置和移动。\n[0047] 保护膜卷安装部分120使附着于物体T的一个表面的保护膜PF与物体T分开以缠绕保护膜PF。保护膜卷安装部分120可旋转地支撑保护膜PF的卷。此外，保护膜卷安装部分120可具有多个吸附孔121，以防止一保护膜PF的卷在保护膜卷安装部分120旋转时相对于保护膜卷安装部分120滑动。至少一个缓冲张力调节辊105或106可布置在卷安装部分110和保护膜卷安装部分120之间的保护膜PF的移动路径上，以调整保护膜PF的张力。缓冲张力调节辊\n105或106可充分地挤压保护膜PF，以将张力施加于保护膜PF。此外，缓冲张力调节辊106可移动到某一位置以调整保护膜PF的移动路径的长度。\n[0048] 对准检查部分130沿从卷安装部分110展开的物体T的宽度方向检测位置和角度的变化。当使用相机时，对准检查部分130可按照视觉方式检测物体T的位置。对准检查部分\n130将关于物体T的位置的信息发送给控制部分140。控制部分140控制卷安装部分110的移动，以使物体T在预定范围内移动。例如，当对准检查部分130检测到沿一个方向偏斜的物体T时，控制部分140可沿与物体T的偏斜方向相反的方向移动卷安装部分110，以使物体T返回到它的初始位置。也就是说，控制部分140可通过使用由对准检查部分130检测的物体T的位置来对卷安装部分110进行反馈控制，以有效地防止物体T相对于参考位置偏斜。\n[0049] 如图3中所示，可与展开单元100分开地设置展开单元100的控制部分140。可选择地，控制部分140可与用于根据示例性实施例的卷对卷检查设备1的总体控制的控制单元\n600一体地形成。\n[0050] 从卷安装部分110展开的物体T经传送辊132和缓冲张力调节辊150被引入到第一检查单元200中。传送辊132引导物体T的移动，并且还允许张力连续地作用在物体T上。缓冲张力调节辊150挤压移动物体T以使张力被施加于物体T。此外，缓冲张力调节辊150沿与物体T的移动方向交叉的方向被可移动地布置，以调整物体T的移动路径的长度。\n[0051] 图4是示出缓冲张力调节辊150的示例的示意图。参照图4，缓冲张力调节辊150连接到重量平衡部分160以将预定压力施加于物体T。重量平衡部分160包括：第一LM引导件\n152、第二LM引导件162、滑轮164、带163、滑轮驱动电机166、缓冲张力调节辊位置检测部分和重物161。\n[0052] 第一LM引导件152沿与物体T的移动方向交叉的方向(例如，沿竖直方向)引导缓冲张力调节辊150的移动。\n[0053] 第二LM引导件162沿与物体T的移动方向交叉的方向(例如，沿竖直方向或Z方向)引导重物161的移动。\n[0054] 滑轮164和带163布置在第一LM引导件152和第二LM引导件162之间。缓冲张力调节辊150结合到带163的一侧，并且重物161结合到带163的另一侧。因此，当滑轮164旋转时，悬挂在滑轮164上的带163可移动，以使得结合到带163的缓冲张力调节辊150和重物161移动。\n这里，由于缓冲张力调节辊150和重物161相对于带163布置在彼此相对的两侧，所以缓冲张力调节辊150和重物161沿彼此相反的方向移动。例如，当滑轮164旋转以使缓冲张力调节辊\n150上升时，重物161下降。\n[0055] 缓冲张力调节辊150通过其自身重量来挤压物体T。如果缓冲张力调节辊150太重，则过大的张力可被施加于物体T。在根据当前实施例的重量平衡部分160的情况下，重物161可用于有效地调整从缓冲张力调节辊150施加于物体T的压力，这是因为重物161通过滑轮\n164连接到缓冲张力调节辊150以沿与重力方向相反的方向拉缓冲张力调节辊150。可考虑到缓冲张力调节辊150的重量和将要施加于物体T的张力来选择重物161。\n[0056] 滑轮驱动电机166可驱动滑轮164以改变缓冲张力调节辊150的位置。滑轮驱动电机166是可反向驱动的。滑轮驱动电机166连接到控制单元600，以根据控制单元600的控制信号控制滑轮164的旋转。\n[0057] 缓冲张力调节辊位置检测部分检测缓冲张力调节辊150的位置，以将检测到的位置信息发送给控制单元600。在当前实施例中，缓冲张力调节辊位置检测部分被实现于连接到滑轮驱动电机166的旋转编码器165。旋转编码器165检测滑轮驱动电机166的旋转量，以获得连接到滑轮164的缓冲张力调节辊150的位置信息。由旋转编码器165测量的关于滑轮驱动电机166的旋转量的信息被发送给控制单元600。控制单元600可从旋转编码器165的测量值计算缓冲张力调节辊150的位置和根据缓冲张力调节辊150的位置的物体T的移动路径的长度。\n[0058] 虽然旋转编码器165在当前实施例中被描述为构成缓冲张力调节辊位置检测部分，但能够检测缓冲张力调节辊150的位置的任何装置可被用作缓冲张力调节辊位置检测部分。例如，能够直接检测缓冲张力调节辊150的位置的线性编码器可被用作缓冲张力调节辊位置检测部分。\n[0059] 根据示例性实施例，缓冲张力调节辊和重量平衡部分可布置在展开单元100和第一检查单元200之间，布置在第一检查单元200和第二检查单元300之间，布置在第二检查单元300和标记单元400之间，以及布置在标记单元400和缠绕单元500之间。如上所述，缓冲张力调节辊150和如以下所述的其它缓冲张力调节辊250、350和450可布置在工作单元100、\n200、300、400和500之间，以在卷对卷检查设备1上保持物体T的张力。此外，控制单元600可控制缓冲张力调节辊150、250、350和450的位置，以调整各工作单元100、200、300、400和500之间的物体T的长度。因此，工作单元100、200、300、400和500可在操作中同步。例如，当大约\n20.5个检查区域存在于布置在第一检查单元200和第二检查单元300之间的物体T上时，物体T可通过移动缓冲张力调节辊250来增加或减小长度。结果，整数个检查区域(例如，大约\n20个检查区域或大约21个检查区域)存在于布置在第一检查单元200和第二检查单元300之间的物体T上。因此，在第一检查单元200和第二检查单元300中对物体T的检查区域的检查可被同时执行。如上所述，控制单元600可通过使用关于物体T的信息和缓冲张力调节辊的位置信息来同步前面的工作单元和后面的工作单元的操作。\n[0060] 第一检查单元200容纳从展开单元100展开的物体T以检查物体T的表面，例如物体T的顶表面。\n[0061] 图5是示出第一检查单元200的内部结构的示意图。参照图5，第一检查单元200包括：壳体201、第一相机210、第一真空板220、照明部分230、吹风机240和第一往复式辊260。\n[0062] 壳体201具有能够容纳第一相机210、第一真空板220、照明部分230、吹风机240和第一往复式辊260的内部空间。HEPA过滤器202可布置在壳体201的上部。HEPA过滤器202执行基本上与展开单元100的HEPA过滤器102相同的功能。\n[0063] 第一相机210布置在物体T上方。此外，第一相机210结合到沿物体T的宽度方向延伸的LM引导件204，以在沿LM引导件204移动的同时扫描并拍摄物体T的检查区域。可设置多个第一相机210以同时获得多个检查区域的图像。第一相机210可以是行扫描相机。\n[0064] 第一真空板220是这样的部分：物体T被布置并安放在该部分上。第一真空板220在其顶表面具有多个吸附孔222(图6中示出)，以吸附放置在第一真空板220的顶表面上的物体T。当在物体T被安放在第一真空板220的顶表面上的状态下通过吸附孔222吸入空气时，物体T粘附于第一真空板220。因此，物体T可被稳定地固定并且平坦地展开。\n[0065] 照明部分230将光发射到物体T上，以使第一相机210获得物体T的图像。照明部分\n230可结合到LM引导件204并且与第一相机210一起一体地移动。\n[0066] 图6是示出照明部分230的内部结构的示意图。参照图6，照明部分230布置在第一相机210和物体T之间。此外，照明部分230具有沿第一相机210的入射光的路径的开口231。\n照明部分230包括：半透明镜232、侧照明单元233和向下照明单元234。\n[0067] 半透明镜232布置在照明部分230的开口231内。此外，半透明镜232可按照大约45度的角度倾斜地布置在第一相机210的入射光的路径上。半透明镜232将从横向侧入射的光朝着下侧反射，并允许从下侧入射的光穿过上侧。\n[0068] 侧照明单元233横向地朝着半透明镜232发射光L。因此，侧照明单元233的光L被半透明镜232反射并因此发射到物体T上。如上所述，由于侧照明单元233的光L经半透明镜232沿第一相机210的光轴线被发射到物体T上，所以光L可非常均匀地发射到物体T的检查区域上以由第一相机210拍摄。\n[0069] 向下照明单元234布置在照明部分230的下部以朝着物体T发射光L。向下照明单元\n234倾斜地将光L发射到物体T的检查区域上。\n[0070] 吹风机240可朝着物体T喷射空气A，以去除存在于物体T的顶表面上的杂质。吹风机240可结合到照明部分230，以在与照明部分230一起移动的同时朝着物体T喷射空气A。也就是说，吹风机240可与照明部分230和第一相机210一起移动。吹风机240可在第一相机拍摄物体T之前将空气A喷射到物体T上，以去除存在于物体T的检查区域上的杂质。\n[0071] 第一往复式辊260布置在第一真空板220的前侧和后侧中的每一侧。第一往复式辊\n260被可移动地布置在第一位置和第二位置之间，在第一位置，物体T被放置在第一真空板\n220上，在第二位置，物体T与第一真空板220分离。\n[0072] 图7是示出第一往复式辊260使物体T安放在第一真空板220上以及使物体T与第一真空板220分离的过程的示意图。如图7中的实线所示，当第一往复式辊260布置在与第一真空板220的顶表面相同的高度或布置在比第一真空板220的顶表面的高度低的高度时，物体T接触第一真空板220的顶表面。在这种状态下，第一真空板220吸附物体T以固定物体T或使物体T平坦化。当物体T被固定到第一真空板220时，吹风机240从物体T的顶表面去除杂质，并且照明部分230和第一相机210扫描物体T的检查区域，由此获得检查图像。当物体T的检查区域被完全拍摄时，第一真空板220的吸附力可被去除。如图7中的交替长短划线所示，第一往复式辊260上升以使物体T与第一真空板220分离。当物体T与第一真空板220分离时，物体T可被再次传送，然后，可对于其它检查区域重复执行与上述过程相同的过程。上述过程可由控制单元600自动控制。\n[0073] 物体T可在物体T被引入到第一真空板220上之前经过杂质去除辊。图8是杂质去除辊207的示意图。杂质去除辊207在物体T的传送路径上布置在第一真空板220的前侧。可布置杂质去除辊207，以使物体T位于杂质去除辊207和接触物体T的底表面的传送辊206之间。\n杂质去除辊207可包括接触辊205和粘合辊209。接触辊205直接接触物体T的顶表面。接触辊\n205可由树脂材料(例如，硅酮树脂材料)形成。接触辊205可直接接触物体T以去除存在于物体T上的杂质。粘合辊209接触接触辊205。此外，粘合辊209在其表面上被涂覆有具有粘合力的材料，诸如粘合带。由于粘合辊209具有比接触辊205的粘合力大的粘合力，所以附着于接触辊205的杂质可被粘合辊209分离。因此，接触辊205可保持在清洁状态。\n[0074] 如上所述，由于在物体T被放置在第一真空板220上之前通过使用杂质去除辊207预先去除杂质，所以可有效地减少可能在留在物体T上的杂质被显示在由第一相机210拍摄的图像上时发生的产品状态的错误判断。\n[0075] 由第一相机210拍摄的物体T经缓冲张力调节辊250被引入到第二检查单元300中。\n布置在第一检查单元200和第二检查单元300之间的缓冲张力调节辊250也可由与图4中示出的重量平衡部分160类似的重量平衡部分针对压力和位置进行充分地调整。\n[0076] 第二检查单元300检查与由第一检查单元200检查的物体T的表面相对的表面，即物体T的底表面。图9是示出第二检查单元300的内部结构的示意图。参照图9，第二检查单元\n300包括：壳体301、第二相机310、第二真空板320、照明部分330、吹风机340、第二往复式辊\n360和辅助加压辊370。\n[0077] 壳体301具有能够容纳第二相机310、第二真空板320、照明部分330、吹风机340、第二往复式辊360和辅助加压辊370的内部空间。HEPA过滤器302也可布置在壳体301的上部。\nHEPA过滤器302执行基本上与展开单元100的HEPA过滤器102相同的功能。\n[0078] 第二检查单元300的第二相机310、第二真空板320、照明部分330、吹风机340、第二往复式辊360可分别对应于第一检查单元200的第一相机210、第一真空板220、照明部分\n230、吹风机240和第一往复式辊260。此外，第二检查单元300的第二相机310、第二真空板\n320、照明部分330、吹风机340、第二往复式辊360分别被布置为与第一检查单元200的第一相机210、第一真空板220、照明部分230、吹风机240和第一往复式辊260对称，从而检查物体T的底部。第二检查单元300的第二相机310、第二真空板320、照明部分330、吹风机340、第二往复式辊360可分别布置在与第一检查单元200的第一相机210、第一真空板220、照明部分\n230、吹风机240和第一往复式辊260相对的一侧。因此，将会省略它们的重复描述。\n[0079] 辅助加压辊370在物体T的行进路径上布置在第二真空板320的前侧和后侧中的每一侧。此外，辅助加压辊370布置在第二板320的吸附物体T的表面上方。因此，辅助加压辊\n370可向上推挤与第二真空板320的两侧对应的物体T的两侧，以使物体T的两侧布置在第二真空板320的所述表面上方。辅助加压辊370可被固定在合适位置。可选择地，辅助加压辊\n370可上升或下降。这里，当辅助加压辊370上升时，辅助加压辊370可布置在第二真空板320的所述表面上方以向上推挤物体T的两侧。如上所述，由于辅助加压辊370相对于第二真空板320的中心向上推挤物体T的两侧，所以物体T可更有效地附着于第二真空板320。此外，当第二真空板320在辅助加压辊370朝着第二真空板320推挤物体T的状态下吸附物体T时，物体T可更紧密地附着于第二真空板320。\n[0080] 如果未设置辅助加压辊370，则物体T通过它的自身重量而下垂。因此，当物体T在物体T下垂的状态下被吸附到第二真空板320上时，物体T可能起皱。当物体T起皱时，物体T可能被损坏，或者视觉检查未被正确执行。因此，需要防止物体T起皱。为了防止物体T下垂，缓冲张力调节辊150、250、350和450的压力可增加以增加施加于物体T的张力。然而，如果施加于物体T的张力增加，则物体T可能被损坏。另外，可能无法有效地减少物体T的下垂。\n[0081] 另一方面，在当前实施例中，第二检查单元300可包括辅助加压辊370以向上推挤物体T的两侧，由此有效地减少物体T的下垂。因此，物体T可更紧密地附着于第二真空板\n320，以有效地防止物体T在将物体T吸附到第二真空板320上期间起皱。\n[0082] 当物体T附着在第二真空板320上时，第二相机310在沿LM引导件304移动的同时扫描物体T的检查区域，以获得关于物体T的检查区域的图像。然后，由第二相机310拍摄的图像被发送给控制单元600。控制单元600基于该图像确定在检查区域上是否存在缺陷。\n[0083] 此外，与第一检查单元200的杂质去除辊207相似的部分可布置在第二检查单元\n300的第二真空板320的前侧，以去除存在于物体T的底表面上的杂质。\n[0084] 当第二相机310的扫描完成时，第二真空板320的吸附力被去除。然后，第二往复式辊360向上移动以使物体T与第二真空板320分离。当物体T与第二真空板320分离时，物体T可被再次传送。\n[0085] 物体T可沿传送路径逐渐前进并经缓冲张力调节辊350被引入到标记单元400中。\n这里，缓冲张力调节辊350可具有与上述缓冲张力调节辊150相同的结构。\n[0086] 标记单元400可在物体T上显示在物体T的检查区域上是否存在缺陷。图10是示出标记单元400的内部结构的示意图。参照图10，标记单元400包括：壳体401、第三相机410、第三真空板420、照明部分430、标记器470、吹风机440、往复式辊460和磁性物质去除部分480。\n[0087] 壳体401具有能够容纳第三相机410、第三真空板420、照明部分430、吹风机440、标记器470、往复式辊460和磁性物质去除部分480的内部空间。与上述工作单元一样，HEPA过滤器402也可布置在壳体401的上部。\n[0088] 第三相机410拍摄物体T的检查区域。此外，第三相机410可确认物体T的对准。与第一相机210和第二相机310不同，第三相机410的分辨率是否高并不重要。例如，第三相机可以不是行扫描相机，而是用于拍摄平面图像的普通相机。\n[0089] 照明部分430包括发光部分434。发光部分434将光发射到物体T上，从而第三相机\n410拍摄物体T。照明部分430可布置在第三相机410和物体T之间。此外，照明部分430可具有用于确保第三相机410的清楚视野的开口。\n[0090] 吹风机440将空气喷射到物体T上，以去除存在于物体T的表面上的杂质。吹风机\n440可布置在照明部分430下方。\n[0091] 标记器470标记在物体T上是否存在缺陷。标记器470布置在与物体T的标记区域对应的位置，例如，布置在与沿物体T的宽度方向的边缘对应的位置。此外，标记器470布置在入射到第三相机410中的光的路径之外，以防止阻挡第三相机。当确定在物体T的检查区域上存在缺陷时，标记器470在标记区域上打上可辨识的标记。标记器470可通过使用各种方法(诸如，机械冲压、激光标刻、可辨识材料涂覆等)来执行打标记。在当前实施例中，将描述机械冲压作为一个示例。也就是说，当确定存在缺陷的物体T的检查区域到达标记器470时，标记器470的尖端472下降以推挤物体T，由此打上可辨识的标记。\n[0092] 当由标记器470完成针对物体T的标记过程时，往复式辊460上升以使物体T与第三真空板420分离。当物体T通过往复式辊460而与第三真空板420分离时，物体T可被再次传送。传送的物体T经缓冲张力调节辊450被引入到缠绕单元500中。这里，缓冲张力调节辊450可具有与上述缓冲张力调节辊150相同的结构。\n[0093] 缠绕单元500以卷形缠绕已被执行视觉检查和打标记的物体。图11是示出缠绕单元500的内部结构的示意图。参照图11，缠绕单元500包括：壳体501、卷安装部分510和保护膜安装部分520。\n[0094] 壳体提供能够容纳卷安装部分510和保护膜卷安装部分520的内部空间。与上述工作单元一样，HEPA过滤器502也可布置在壳体501的上部。\n[0095] 卷安装部分510以卷形缠绕物体T。缠绕单元500的卷安装部分510与展开单元100的卷安装部分110的不同之处仅在于：卷安装部分510缠绕物体T。然而，缠绕单元500的卷安装部分510具有与展开单元100的卷安装部分110相同的结构。因此，将省略它们的重复描述。\n[0096] 保护膜卷安装部分520展开保护膜PF，以使得在缠绕单元500缠绕物体T之前保护膜PF再次覆盖在物体T的表面上。保护膜卷安装部分520与展开单元100的保护膜卷安装部分120的不同之处仅在于：保护膜卷安装部分520展开保护膜PF。保护膜卷安装部分520具有与保护膜卷安装部分120相同的结构。\n[0097] 缠绕在保护膜卷安装部分120上的保护膜PF可经缓冲张力调节辊505和506附着于物体T的表面。缓冲张力调节辊505和506调整保护膜PF的张力并改变保护膜PF的移动路径。\n缓冲张力调节辊505和506中的至少一个辊可被可移动地布置。\n[0098] 通过上述过程，保护膜PF附着于物体T的表面，并且物体T被再次以卷形缠绕。因此，当关于物体T的检查过程完成时，物体T可被以卷形分配。\n[0099] 控制单元600自动控制展开单元100、第一检查单元200、第二检查单元300、标记单元400和缠绕单元500。控制单元600可以是包括微处理器的计算机。此外，控制单元600可控制物体T的移动速度并同步工作单元100、200、300和400的操作。\n[0100] 如上所述，使用该卷对卷检查设备的卷对卷检查方法可如图12中所示包括：在展开单元中展开物体T(S10)；在对准检查部分130中沿物体T的宽度方向测量移动量(S12)；校正卷安装部分110的位置，以校正沿物体T的卷的宽度方向的位置(S14)；在第一检查单元\n200中将物体T的底表面附着在第一真空板220上(S16)；将空气喷射到附着于第一检查单元\n200的第一真空板220的物体T的顶表面上，以去除杂质(S18)；将光发射到附着于第一检查单元200的第一真空板220的物体T的顶表面上，以扫描物体T的顶表面(S20)；在第二检查单元300中将第二真空板320布置在物体T上方，以向上挤压与第二真空板320的前侧和后侧对应的物体T的两侧(S22)；在第二检查单元300中将物体T的顶表面附着在第二真空板320上(S24)；在第二检查单元300中将空气喷射到被吸附在第二真空板320上的物体T的底表面上以去除杂质(S26)；将光发射到粘附于第二检查单元300的第二真空板320的物体T的底表面，上以扫描物体T的底表面(S28)；在控制单元中通过使用从第一检查单元200和第二检查单元300获得的物体T的顶表面和底表面的图像信息来确定在物体T上是否存在缺陷(S30)；\n在标记单元400中对存在缺陷的物体T执行标记过程(S32)；以及在缠绕单元500中缠绕已被执行标记过程的物体(S34)。\n[0101] 此外，在执行上述过程的同时，可通过使用缓冲张力调节辊150、250、350和450来执行调整施加于物体T的张力的过程。\n[0102] 可同时在展开单元100、第一检查单元200、第二检查单元300、标记单元400和缠绕单元500中执行各个过程。也就是说，可同时对其它物体T的检查区域执行在第一检查单元\n200中对物体T的顶表面的扫描(S20)、在第二检查单元300中对物体T的底表面的扫描(S28)和在标记单元400中对物体T的标记。为了同时在每个工作单元中执行上述过程，根据当前实施例的卷对卷检查方法可还包括：同步这些过程(S38)。为了同步这些过程，可如上所述将缓冲张力调节辊150、250、350和450调整到合适位置，以调整工作单元100、200、300、400和500之间的物体T的长度。\n[0103] 虽然可通过用户的直接控制来执行每个过程的开始、进行和结束，但可由控制单元600自动执行每个过程的开始、进行和结束。\n[0104] 当通过使用根据实施例的卷对卷检查设备1来检查卷形物体T时，可同时检查物体T的顶表面和底表面而无需翻转物体T。因此，可简单而快速地执行检查过程。此外，可通过使用多个相机同时在第一检查单元200和第二检查单元300中检查物体T。另外，由于可在执行检查过程的同时去除物体T上的杂质，所以可进一步提高物体T的检查过程速度。特别地，即使物体T具有宽的宽度，根据实施例的卷对卷检查设备1也可以高速执行检查过程。\n[0105] 虽然如上所述描述了卷对卷检查设备1和使用卷对卷检查设备1的卷对卷检查方法，但本发明构思不限于此。也就是说，本发明构思可被实现于各种结构和方法中。\n[0106] 例如，虽然在前面的实施例中首先扫描物体T的顶表面并且稍后扫描物体T的底表面，但本发明构思不限于此。例如，可首先扫描底表面，然后可扫描顶表面。在这种情况下，第一检查单元200和第二检查单元300可交换位置。\n[0107] 此外，第一相机210和第二相机310可被沿物体T的传送方向以及沿物体T的宽度方向可移动地布置。在这种情况下，第一相机210和第二相机310可按照锯齿形状扫描物体T以便一次拍摄物体T的更宽的区域。\n[0108] 此外，虽然缓冲张力调节辊150、250、350和450通过使用滑轮164、带163和重物161挤压物体T，但缓冲张力调节辊150、250、350和450可通过使用静载荷弹簧来挤压物体T。\n[0109] 此外，虽然两个第一往复式辊260布置在第一真空板220的两侧，但第一往复式辊\n260可仅布置在第一真空板220的一侧，并且固定辊可布置在第一真空板220的另一侧。在这种情况下，物体T可通过第一往复式辊260而与第一真空板220分隔开。类似地，可以不必提供两个第二往复式辊360。\n[0110] 另外，本发明构思可被实现于各种结构和方法中。\n[0111] 根据所述卷对卷检查设备和卷对卷检查方法，可同时检查卷形物体的两个表面。\n此外，可简单而快速地执行物体的检查过程，由此提高过程生产率。\n[0112] 尽管已参照本发明构思的示例性实施例具体示出并描述了本发明构思，但本领域普通技术人员将会理解，在不脱离由权利要求限定的本发明构思的精神和范围的情况下，可对其做出各种形式和细节上的修改。