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高转化率多晶硅清洗装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620992869.3
  • IPC分类号:B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
  • 申请日期:
    2016-08-30
  • 申请人:
    常州群达硅材料整理有限公司
著录项信息
专利名称高转化率多晶硅清洗装置
申请号CN201620992869.3申请日期2016-08-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/08IPC分类号B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人常州群达硅材料整理有限公司申请人地址
江苏省常州市金坛区经济开发区汇贤北路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州群达硅材料整理有限公司当前权利人常州群达硅材料整理有限公司
发明人许波
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型涉及到一种高转化率多晶硅清洗装置,包括电机、存放器和清洗器;所述存放器和清洗器呈无盖圆柱状,所述清洗器内部设有转动器,所述转动器外圈上设有插槽,所述插槽上设有搅动叶片,所述搅动叶片上设有若干孔,所述搅动叶片末端设有海绵,所述清洗器外壁上设有若干孔,所述清洗器底部与存放器固定连接,所述清洗器和存放器之间设有过滤槽。采用上述结构后,高转化率多晶硅清洗装置与现有技术相比较,在结构上可以很有效的做到大量的多晶硅清洗任务,清洗多晶硅时可以有效的做到去除硅料内部的碳化硅和氮化硅及金属杂质,减少硅锭的杂质,提升硅锭的质量。

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