一种托卡马克第一镜综合清洗平台

发明专利有效专利

申请号：
CN201611126560.7
IPC分类号：G21B1/23;G21B1/25;H01J37/32;B08B7/00
申请日期：
2016-12-09
申请人：
中国科学院合肥物质科学研究院

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种托卡马克第一镜综合清洗平台
申请号	CN201611126560.7	申请日期	2016-12-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-17	公开/公告号	CN106683716A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G21B1/23 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G21 核物理；核工程 G21B 聚变反应堆（不可控聚变，其应用入G21J） G21B1/02 （转入G21B 1/00，G21B 3/00） G21B1/11 零件〔8〕 G21B1/23 光学系统，例如，照射目标、加热等离子体或等离子体诊断学〔8〕	IPC分类号	G;2;1;B;1;/;2;3;;;G;2;1;B;1;/;2;5;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;B;0;8;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院合肥物质科学研究院	申请人地址	安徽省合肥市蜀山湖路350号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥物质科学研究院	当前权利人	中国科学院合肥物质科学研究院
发明人	彭姣;鄢容;陈俊凌
代理机构	安徽合肥华信知识产权代理有限公司	代理人	余成俊

摘要

本发明公开了一种托卡马克第一镜综合清洗平台，包括真空系统、等离子体放电系统、激光清洗系统。本发明将等离子体清洗和激光综合到同一真空室，可利用等离子体放电的真空环境进行激光清洗，实现在真空环境下对第一镜进行激光清洗，并可利用合适的激光光路实时测量反射率，评估清洗效果并深入探索其时间演化过程及可能的清洗机理。激光器四个波长可调，激光打标模式多样，实现大面积扫描单一及复合沉积层的机理。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供