在基板上沉积二氧化硅涂层的方法

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专利名称	在基板上沉积二氧化硅涂层的方法
申请号	CN200480024495.6	申请日期	2004-07-02
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-04	公开/公告号	CN1842501
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C17/245 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C17/00 纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理 C03C17/22 用其他的无机材料（C03C 17/34、C03C 17/44优先）〔3〕 C03C17/23 氧化物（C03C 17/02优先）〔3〕 C03C17/245 采用从气相沉积〔3〕	IPC分类号	C;0;3;C;1;7;/;2;4;5查看分类表>
申请人	皮尔金顿北美公司	申请人地址	美国俄亥俄州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	皮尔金顿北美公司	当前权利人	皮尔金顿北美公司
发明人	D·纳尔逊;T·凯默利;M·P·小雷明顿
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	李连涛

摘要

在玻璃基板上制备二氧化硅涂层的方法，所述方法包括提供SiH4、NH3和O2的前体混合物，优选存在C2H4和惰性载气。在常压、在线化学气相沉积方法中沿着玻璃基板表面引入所述前体混合物。使所述前体混合物在玻璃基板表面反应，以在玻璃基板上形成基本不含氮的二氧化硅涂层。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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