用于产生等离子体的电极、具有该电极的等离子体室和用于原位分析或原位处理层或等离子体的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201180034905.5
IPC分类号：H01J37/32;C23C16/52
申请日期：
2011-07-07
申请人：
于利奇研究中心有限公司

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专利名称	用于产生等离子体的电极、具有该电极的等离子体室和用于原位分析或原位处理层或等离子体的方法
申请号	CN201180034905.5	申请日期	2011-07-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-15	公开/公告号	CN103109343A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2查看分类表>
申请人	于利奇研究中心有限公司	申请人地址	德国于利奇变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	于利奇研究中心有限公司	当前权利人	于利奇研究中心有限公司
发明人	S.穆特曼;A.戈迪恩;R.卡里尤斯;M.许尔斯贝克;D.哈伦斯基
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	杜荔南;朱海煜

摘要

本发明涉及一种用于在等离子体室中产生等离子体的rf电极，其特征在于光学通孔。本发明还涉及一种等离子体室，包括rf电极和具有用于容纳衬底的衬底固定器的反电极，其中在rf电极和反电极之间能够构成用于产生等离子体的高频交变场。该等离子体室的特征在于具有光学通孔的rf电极。本发明还涉及一种用于在等离子体室中对层或等离子体进行原位分析或原位处理的方法，其中该层设置在反电极上并且在朝向层的一侧上设置rf电极。该方法的特征在于选择具有光学通孔的rf电极，并且其特征在于至少一个步骤，在所述步骤中电磁辐射为了对层或等离子体进行分析或处理的目的通过光学通孔引导，并且在于至少一个其它步骤，在所述步骤中所散射或发射或反射的辐射被输送到分析设备。

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