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一种光刻机硅片台双台交换系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910131505.0
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2009-04-03
  • 申请人:
    清华大学
著录项信息
专利名称一种光刻机硅片台双台交换系统
申请号CN200910131505.0申请日期2009-04-03
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2009-10-07公开/公告号CN101551598
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人清华大学申请人地址
北京市信箱82分箱清华大学专利办公室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人清华大学,北京华卓精科科技股份有限公司当前权利人清华大学,北京华卓精科科技股份有限公司
发明人朱煜;张鸣;汪劲松;田丽;徐登峰;尹文生;段广洪;胡金春
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司代理人邸更岩
摘要
一种光刻机硅片台双台交换系统,该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台,每个硅片台各由一个六自由度微动台承载,硅片台和六自由度微动台构成一个硅片台组,两个硅片台组设置在同一长方形的基台上。在基台每边分别设有一组双自由度驱动单元,两个硅片台组通过气浮轴承悬浮在基台上表面;硅片台组的六自由度微动台结构分上下两层,可实现6自由度控制,基台长边的双自由度驱动单元与六自由度微动台外壳连接,驱动整个硅片台组在水平面上运动,基台短边的双自由度驱动单元与六自由度微动台上层定子线圈骨架连接,驱动六自由度微动台上层定子线圈在水平面上运动。本发明避免了因硅片台交换采用对接导轨所带来的要求极高的加工和装配精度,以及需增加对接辅助装置等缺陷,大大简化了系统结构。

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