一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202222438709.2
IPC分类号：C23C14/30;C23C14/08
申请日期：
2022-09-14
申请人：
浙江诺华陶瓷有限公司

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专利名称	一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿
申请号	CN202222438709.2	申请日期	2022-09-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/30 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕 C23C14/28 波能法或粒子辐射法（C23C 14/32至C23C 14/48优先）〔4〕 C23C14/30 电子轰击法〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;0;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8查看分类表>
申请人	浙江诺华陶瓷有限公司	申请人地址	浙江省金华市东阳市巍山镇六怀工业功能区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江诺华陶瓷有限公司	当前权利人	浙江诺华陶瓷有限公司
发明人	董家海;斯超波
代理机构	北京君恒知识产权代理有限公司	代理人	姜有维

摘要

本实用新型涉及涉及电子束蒸镀领域，更具体的说是一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿；有益效果为能够得到不同尺寸的氧化铝薄膜。一种用于电子束蒸镀氧化铝薄膜的器皿，包括器皿本体，器皿本体内转动连接螺杆,与器皿本体内壁贴合的安装座螺纹连接在螺杆上，器皿本体上固定连接空心座，盖板配合连接在空心座上，盖板的两端皆设有插槽，器皿本体的两端皆插有挡板。所述空心座固定连接在水盒上，器皿本体位于水盒内。所述器皿本体内对称固定连接两个橡胶座。所述器皿本体的两端分别转动连接一个丝杠Ⅱ，两个挡板分别与两个丝杠Ⅱ螺纹连接。所述空心座内插有插架，盖板与插架配合连接。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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