一种真空腔室与一种观察窗

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201822072403.3
IPC分类号：C23C14/52;C23C14/56;C23C14/34
申请日期：
2018-12-11
申请人：
北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种真空腔室与一种观察窗
申请号	CN201822072403.3	申请日期	2018-12-11
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/52 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/52 观察镀覆工艺的装置〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;2;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	北京铂阳顶荣光伏科技有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街7号院6号楼3001室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿翌科技有限公司,北京顶荣光伏科技有限公司	当前权利人	鸿翌科技有限公司,北京顶荣光伏科技有限公司
发明人	杨涛;王烨;吴国发
代理机构	北京清源汇知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本申请提供一种真空腔室，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。本申请真空腔室的观察窗设置于溅射系统区域，观察窗的安装位置适合观察者清楚观察溅射系统区域的辉光放电情况，同时在不需要观察时，采用挡片将所述观察窗挡住，防止溅射系统区域对观察窗镀膜，同时还能减少因辉光放电对人体的伤害。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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