一种高精度角度测量装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201711452067.9
IPC分类号：G01B11/26
申请日期：
2017-12-28
申请人：
西安应用光学研究所

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著录项信息

专利名称	一种高精度角度测量装置及方法
申请号	CN201711452067.9	申请日期	2017-12-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-05-11	公开/公告号	CN108020179A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/26 用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;6查看分类表>
申请人	西安应用光学研究所	申请人地址	陕西省西安市雁塔区电子三路西段九号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安应用光学研究所	当前权利人	西安应用光学研究所
发明人	于东钰;黎高平;吴磊;桑鹏;阴万宏;李四维;吕春莉
代理机构	西北工业大学专利中心	代理人	陈星

摘要

本发明提出一种高精度角度测量装置及方法，激光光源经扩束镜和衰减片后成为扩束平行激光；扩束平行激光经过第一分束镜、反射镜、第三分束镜、第四分束镜，形成第一参考光束；扩束平行激光经过第一分束镜、第二分束镜、第三分束镜、第四分束镜，形成第二参考光束；扩束平行激光经过第一分束镜、第二分束镜、待测反射镜、第四分束镜，形成待测光束；第一参考光束、第二参考光束、待测光束在CCD相机像面上相干叠加产生干涉图，并输入图像处理系统。本发明通过测量激光干涉光斑的位置信息，并将位置信息进行线性拟合，通过计算直线距离的变化量，计算出入射激光的角度变化。在相同测量精度下，该方法避免了对距离的苛刻要求，为高精度角度测量设备小型化提供一种方法。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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