一种石英基板底厚快速测量方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201610116781.X
IPC分类号：G01B5/06
申请日期：
2016-03-24
申请人：
南通永明光纤材料有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种石英基板底厚快速测量方法
申请号	CN201610116781.X	申请日期	2016-03-24
法律状态	驳回	申报国家	暂无
公开/公告日	2016-05-18	公开/公告号	CN105588489A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B5/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B5/00 以采用机械方法为特征的计量设备（包括在大组G01B 3/00中的各式量具本身入G01B 3/00）〔2〕 G01B5/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 5/004，G01B 5/08优先）〔6〕 G01B5/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;5;/;0;6查看分类表>
申请人	南通永明光纤材料有限公司	申请人地址	江苏省南通市崇川区紫琅路61号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南通永明光纤材料有限公司	当前权利人	南通永明光纤材料有限公司
发明人	张泳翔;许建
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种石英基板底厚快速测量方法，根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片，将垫片与底座固定，首先校正零位，即放下把手时，测头与垫片表面接触，把百分表清零校正，然后可以开始逐个测量：抬起把手，将待测基板倒置放在垫片上，再放下把手，读出百分表读数，就是测得的基板底厚数值。本发明具有结构简单，能直观看到测量结果，测量准确，操作方便的优点，解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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