用于化学机械抛光的无粘合剂载具

发明专利有效专利

申请号：
CN201880014288.4
IPC分类号：B24B37/30;B24B37/04;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683
申请日期：
2018-03-08
申请人：
应用材料公司

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著录项信息

专利名称	用于化学机械抛光的无粘合剂载具
申请号	CN201880014288.4	申请日期	2018-03-08
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-10-25	公开/公告号	CN110382165A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/30 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/27 工件载体〔2012.01〕 B24B37/30 用于平面的单侧研磨〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;3;0;;;B;2;4;B;3;7;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	塞沙德里·拉马斯瓦米;拉杰夫·巴贾;尼兰詹·库玛尔;斯里斯卡塔拉贾赫·西里纳瓦卡拉苏;阿尔文·桑德拉扬
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;赵静

摘要

本公开内容的实施方式涉及用于抛光具有高平整性的薄基板的系统、设备和方法。设备包括化学机械抛光头和板。抛光头包括底表面、扣环、在底表面与扣环之间限定的工件接收袋和至少一个真空口，真空口适于通过抛光头的底表面向工件接收袋提供真空。板设置在工件接收袋中，使得板的上侧面向抛光头的底表面，而板的下侧面向远离抛光头的底表面。板具有几何形状或材料性质，经配置以当在工件接收袋中施加真空时，允许流体通过板的上侧与下侧之间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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