检查装置、检查系统和制造物品的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611215947.X
IPC分类号：G06T7/00
申请日期：
2016-12-23
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	检查装置、检查系统和制造物品的方法
申请号	CN201611215947.X	申请日期	2016-12-23
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-07-21	公开/公告号	CN106971387A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06T7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06T 一般的图像数据处理或产生〔6，2006.01〕 G06T7/00 图像分析〔6，2006.01，2017.01〕	IPC分类号	G06T7/00查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京都大田区下丸子3丁目3*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	植村卓典
代理机构	北京怡丰知识产权代理有限公司	代理人	迟军

摘要

本公开涉及检查装置、检查系统和制造物品的方法。本发明提供一种执行表面的外观检查的检查装置，该装置包括多个成像器件、包含多个光源的照射器件和处理器，其中，多个成像器件被布置为使得多个成像器件分别对表面成像的方位方向相互不同，并且，处理器被配置为在使得多个成像器件中的每一个对表面成像的情况下控制照射器件，使得表面被多个光源中的对表面成像的方位角与对表面照射的方位角之间的角度差小于90度的光源照射。