圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200520041095.8
IPC分类号：G01B5/28;G01B3/22
申请日期：
2005-04-22
申请人：
上海申菲激光光学系统有限公司

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专利名称	圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪
申请号	CN200520041095.8	申请日期	2005-04-22
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B5/28 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B5/00 以采用机械方法为特征的计量设备（包括在大组G01B 3/00中的各式量具本身入G01B 3/00）〔2〕 G01B5/28 用于计量表面的粗糙度或不规则性	IPC分类号	G;0;1;B;5;/;2;8;;;G;0;1;B;3;/;2;2查看分类表>
申请人	上海申菲激光光学系统有限公司	申请人地址	上海市松江九亭小寅变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海申菲激光光学系统有限公司	当前权利人	上海申菲激光光学系统有限公司
发明人	应永伟;周德林
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	薛琦

摘要

本实用新型涉及一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪，包括：一个三角形工作台面(3)，在所述的三角形工作台面(3)上分别安置三个圆座(1)，每个圆座(1)上安置一个圆球(11)；在所述的三角形工作台面(3)的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座(2)；在所述的三角形工作台面(3)的中心位置孔下方安置了一台千分表(4)；克服了各类规格圆形光盘母盘基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，使测量精度大大提高：达到0.001mm；特别适应于常用大面积(如φ160～φ240mm)超薄型易变形的圆形光盘母盘玻璃基片(外经/厚度＝10∶1～200∶1)；不仅操作方便，检查直观，而且工作效率极高，十几秒种即可从千分表中读出数值。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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