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在线监测薄膜、镀膜及涂布膜膜层厚度均匀性的装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN00224940.5
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2000-06-02
  • 申请人:
    唐能诚
著录项信息
专利名称在线监测薄膜、镀膜及涂布膜膜层厚度均匀性的装置
申请号CN00224940.5申请日期2000-06-02
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人唐能诚申请人地址
湖南省长沙市里仁巷2号东门403室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人唐能诚当前权利人唐能诚
发明人唐能诚;胡建河
代理机构湖南省专利服务中心代理人罗建民
摘要
本实用新型属于光电检测仪器技术领域,涉及一种在线监测薄膜、镀膜及涂布膜膜层厚度均匀性的装置。它包括光源部分、探测器部分和微机处理及显示部分,光源部分是由凹面反射镜和白炽灯泡构成或是小型半导体激光器,探测器部分采用硅光电探测器、光源部分和探测器部分构成一个或一个以上的监测点,光源部分在被测物体的一侧,白炽灯泡或半导体激光器与电源连接,探测器部分在被测物体的另一侧,并与微机处理及显示部分连接。

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