硅微振动陀螺仪

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02218376.0
IPC分类号：--
申请日期：
2002-01-17
申请人：
东南大学

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硅微振动陀螺仪
申请号	CN02218376.0	申请日期	2002-01-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市四牌楼2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	裘安萍;王寿荣;周百令;苏岩
代理机构	南京经纬专利代理有限责任公司	代理人	沈廉

摘要

硅微振动陀螺仪是一种较高精度的陀螺仪,该陀螺仪由制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构的上层部分和制作在玻璃衬底上的信号引线的下层部分所组成,陀螺仪上层机械结构的内框架通过内扭杆与外框架相连,外框架通过外扭杆和横梁连于固定基座,陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线、驱动输入引线,敏感输出信号引线、反馈信号引线,上层机械结构的固定基座安装在玻璃衬底上的固定基座键合点上,使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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