胶体状硅石淤浆

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专利名称	胶体状硅石淤浆
申请号	CN01123727.9	申请日期	2001-07-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-02-27	公开/公告号	CN1337437
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	扶桑化学工业株式会社	申请人地址	日本大阪市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	扶桑化学工业株式会社	当前权利人	扶桑化学工业株式会社
发明人	松村茂丰;冈田幸夫;马奈木龙夫;外山景司;酒井正年
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	杨淑媛;郑霞

摘要

本发明提供了一种胶体状硅石淤浆，其特征是在胶体状硅石中添加5～100ppm的过氧化氢构成。该胶体状硅石淤浆不会对硅片及硅片上的配线材料产生腐蚀等不良影响，并且可以抑制微生物产生。同时，由于胶体粒子的粒径稳定性优良，所以保存稳定性高，可长期连续使用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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