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半导体器件及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03824140.4
  • IPC分类号:H01L21/316;H01L29/78;H01L21/336;H01L27/04;H01L21/822
  • 申请日期:
    2003-03-24
  • 申请人:
    富士通株式会社
著录项信息
专利名称半导体器件及其制造方法
申请号CN03824140.4申请日期2003-03-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-10-26公开/公告号CN1689146
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/316
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;1;6;;;H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6;;;H;0;1;L;2;7;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;2查看分类表>
申请人富士通株式会社申请人地址
日本神奈川县横浜市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人富士通半导体股份有限公司当前权利人富士通半导体股份有限公司
发明人杉田义博
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司代理人高龙鑫;王玉双
摘要
在Si衬底(11)的表面形成p阱(12),形成元件分离绝缘膜(13)。接着,在整个面上形成薄的SiO2膜(14a),在其上作为绝缘膜(14b)形成含有稀土类金属(例如La、Y)和Al的氧化膜。而且,在绝缘膜(14b)上形成多晶硅膜(15)。然后,通过进行例如1000℃左右的热处理,使SiO2膜(14a)和绝缘膜(14b)进行反应,形成含有稀土类金属和Al的硅酸盐膜。即,将SiO2膜(14a)和绝缘膜(14b)成为单一的硅酸盐膜。

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