一种智能真空镀膜机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022211008.6
IPC分类号：C23C14/50;C23C14/35
申请日期：
2020-09-30
申请人：
金华万得福日用品股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种智能真空镀膜机
申请号	CN202022211008.6	申请日期	2020-09-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/50 基座〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	金华万得福日用品股份有限公司	申请人地址	浙江省金华市金东区孝顺镇镇北功能区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	金华万得福日用品股份有限公司	当前权利人	金华万得福日用品股份有限公司
发明人	徐世杰;张一为
代理机构	浙江千克知识产权代理有限公司	代理人	田静

摘要

本实用新型公开一种智能真空镀膜机，包括壳体，壳体具有腔体，腔体内装有磁控溅射靶，工件架围绕所述磁控溅射靶自转和公转；所述工件架包括公转架和均匀安装于磁控溅射靶周围的多个自转组件；每个自转组件通过轴承安装于公转架；自转组件与壳体内壁设有多个拨动件相接触，自转组件通过拨动件的阻挡相对磁控溅射靶自转；该实用新型工件架围绕磁控溅射靶产生自转和公转，减少待镀膜产品因位置不同引起膜层厚度差异。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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