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一种抗磨类金刚石涂层的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810263024.4
  • IPC分类号:C23C14/32;C23C14/06;C23C14/58;C23C14/02
  • 申请日期:
    2018-03-28
  • 申请人:
    北京师范大学
著录项信息
专利名称一种抗磨类金刚石涂层的制备方法
申请号CN201810263024.4申请日期2018-03-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-08-03公开/公告号CN108359942A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/32IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;2;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2查看分类表>
申请人北京师范大学申请人地址
北京市海淀区新街口外大街19号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京师范大学当前权利人北京师范大学
发明人廖斌;欧阳晓平;张旭;吴先映;左帅;韩然;刘建武;杨晓峰;罗军;庞盼
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种类金刚石涂层的制备方法,包括以下步骤:S1:利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗;S2:以碳靶为阴极,利用磁过滤沉积技术在所述基体上进行类金刚石涂层的沉积;该方法沉积速率高,成本低,能实现大批量生产;S3:利用激光器对类金刚石涂层进行表面刻蚀,刻蚀间隔为2‑10微米;S4:利用气体离子源对图形化类金刚石膜进行表面处理。采用该方法制备的涂层为四面体非晶形碳高sp3和低sp3含量交替变化结构;该涂层具备高耐磨损性能,比含氢类金刚石、高sp3含量类金刚石以及低sp3含量类金刚石具备更高的抗裂纹生长能力以及抗摩擦磨损性能。

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