用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台

发明专利有效专利

申请号：
CN201110218651.4
IPC分类号：C30B28/06;C30B11/00;C30B29/06
申请日期：
2011-08-01
申请人：
上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司

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专利名称	用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台
申请号	CN201110218651.4	申请日期	2011-08-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-12-07	公开/公告号	CN102268728A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;1;1;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	上虞晶信机电科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司	申请人地址	浙江省绍兴市上虞市经济技术开发区通江西路218号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上虞晶信机电科技有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司	当前权利人	上虞晶信机电科技有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司
发明人	傅林坚;石刚;叶欣;曹建伟;邱敏秀
代理机构	杭州中成专利事务所有限公司	代理人	金祺

摘要

本发明涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供一种用于多晶硅铸锭炉的改进结构的热交换台。该热交换台用来放置多晶硅铸锭炉坩埚并实现热交换，设有气体入口和气体出口，热交换台的内部设置冷却气通道，并与前述气体入口和气体出口相连。相比辐射降温和水冷式的冷却技术，本发明中的热交换台在用于气体致冷时控制能力强、工业可控性高，而且由于气体均匀进入热交换台使得热交换台整体温度均匀，有利于坩埚底部硅熔体的均匀形核，可以在长晶过程中对坩埚底部温度的下降速度进行精确控制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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