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一种氧化锌材料发光二极管的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510200730.7
  • IPC分类号:H01L33/00;H01S5/00
  • 申请日期:
    2005-11-24
  • 申请人:
    大连理工大学
著录项信息
专利名称一种氧化锌材料发光二极管的制备方法
申请号CN200510200730.7申请日期2005-11-24
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2006-06-14公开/公告号CN1787248
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/00IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;0;0;;;H;0;1;S;5;/;0;0查看分类表>
申请人大连理工大学申请人地址
辽宁大连甘井子区凌工路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人大连理工大学当前权利人大连理工大学
发明人边继明;杜国同;胡礼中;刘维峰;王新盛;梁红伟
代理机构大连理工大学专利中心代理人侯明远
摘要
本发明属于半导体发光器件及其制备方法技术领域,涉及一种氧化锌材料发光二极管的制备方法。其特征是在不同的衬底材料表面上,采用超声雾化热分解方法,依次生长p-型和n-型Zn(Mg)O薄膜而制得ZnO基p-n结材料。通过控制先驱体溶液浓度及配比、衬底温度、成膜气氛及雾化气量可实现对制得ZnO基p-n结材料电学性能的控制,以满足制备氧化锌基发光二极管(LEDs),激光二极管(LDs)等光电子器件方面的需要。通过标准半导体工艺制备上下欧姆接触电极,即可获得氧化锌材料发光二极管。本发明的效果和益处在于提供一种工艺简单易行的制备氧化锌发光二极管(LEDs)的方法。氧化锌材料p-n结室温电注入发光的实现必将进一步促进ZnO光电信息功能材料和器件的应用。

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