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背面照明型图像传感器及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980131173.4
  • IPC分类号:H01L27/146
  • 申请日期:
    2009-06-10
  • 申请人:
    科洛司科技有限公司
著录项信息
专利名称背面照明型图像传感器及其制造方法
申请号CN200980131173.4申请日期2009-06-10
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-07-06公开/公告号CN102119442A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/146IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;6查看分类表>
申请人科洛司科技有限公司申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人爱思开海力士有限公司当前权利人爱思开海力士有限公司
发明人表成奎
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人彭久云
摘要
本发明提供一种从晶片背面照射光的背面照明型图像传感器及其制造方法。为此,本发明提供的背面照明型图像传感器包括:光接收元件,形成在第一基板中;层间绝缘层,形成在包括光接收元件的第一基板上;通孔,与光接收元件间隔开且形成为穿过层间绝缘层和第一基板;间隙壁,形成在通孔的内壁上;对准件,形成为容纳在通孔中;配线层,在层间绝缘层上形成为多个层,且该多个层的最底层的背表面连接到对准件;保护层,形成为覆盖配线层;焊垫,局部地形成在第一基板的背表面上且连接到对准件的背表面;以及滤色器和微透镜,对应于光接收元件形成在第一基板的背表面上。

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