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承载装置及半导体检测设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110325987.4
  • IPC分类号:H01L21/683
  • 申请日期:
    2021-03-26
  • 申请人:
    深圳中科飞测科技股份有限公司
著录项信息
专利名称承载装置及半导体检测设备
申请号CN202110325987.4申请日期2021-03-26
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-07-06公开/公告号CN113078095A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人深圳中科飞测科技股份有限公司申请人地址
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳中科飞测科技股份有限公司当前权利人深圳中科飞测科技股份有限公司
发明人陈鲁;邓曾红;黄有为;张嵩
代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)代理人邵泳城
摘要
本申请提供一种承载装置及半导体检测设备。承载装置包括基板,基板上设有气孔、泄气孔和排气槽,所述气孔用于为工件提供正压和/或负压,以承载所述工件,泄气孔设置于基板的中心区域,用于排出基板的上表面与工件之间的部分气体,至少部分排气槽用于将基板的中心区域的气体导引至基板的边缘区域。本申请的承载装置及半导体检测设备中,中心区域的泄气孔排出基板上表面与工件之间的部分气体,排气槽将基板的中心区域的气体导引至边缘区域,从而减小中心区域和边缘区域的气压差距,最大程度防止悬浮于承载装置上的工件发生形变,保证工件具有良好的平面度。

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