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一种金刚石晶圆及其生产方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010526930.2
  • IPC分类号:H01L29/12H01L21/02
  • 申请日期:
    2010-11-01
  • 申请人:
    河南省联合磨料磨具有限公司
著录项信息
专利名称一种金刚石晶圆及其生产方法
申请号CN201010526930.2申请日期2010-11-01
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-04-27公开/公告号CN102034854A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/12IPC分类号H01L29/12;H01L21/02查看分类表>
申请人河南省联合磨料磨具有限公司申请人地址
河南省郑州市经济技术开发区第五大街109-*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河南联合精密材料股份有限公司当前权利人河南联合精密材料股份有限公司
发明人赵仁玉;汪静
代理机构郑州大通专利商标代理有限公司代理人张爱军
摘要
本发明涉及一种金刚石晶圆及其生产方法。金刚石晶圆中非金刚石物质含量占金刚石晶圆总质量的0.05~15%。生产方法为:先用有机物对金刚石磨料进行表面包覆处理,将处理后的金刚石磨料平铺在模具中,表面用金属催化剂覆盖后压紧,放入真空炉中,在400~1000℃热处理2~10h,将模具装入叶蜡石合成块中,经六面顶压机在6~8GPa、1400~2000℃下处理1~10h,停热卸压后取出模具,用王水除去模具和表面的金属催化剂,即得到金刚石晶圆。该产品质量稳定,设备投入较低,成本低廉,晶圆尺寸较大,热导率达到10-12W/(cm.K),可作为高性能的散热材料;还可用于太阳能光伏电池基材和半导体芯片,应用范围广。

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