一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201510889560.1
IPC分类号：C01B3/52
申请日期：
2015-12-04
申请人：
新特能源股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统
申请号	CN201510889560.1	申请日期	2015-12-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-06-13	公开/公告号	CN106829863A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B3/52 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B3/00 氢；含氢混合气；从含氢混合气中分离氢；氢的净化（用固体碳质物料生产水煤气或合成气入C10J）〔3〕 C01B3/50 氢或含氢气体从混合气体中的分离，如净化（C01B 3/14优先）〔3〕 C01B3/52 用与液体接触法；所用液体的再生〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;/;5;2查看分类表>
申请人	新特能源股份有限公司	申请人地址	新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	新特能源股份有限公司	当前权利人	新特能源股份有限公司
发明人	邹飞;陈喜清;张旭;王玉丽;张治锦;郑宝刚;黎远中
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	罗建民;邓伯英

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统，包括：含油氢气缓冲罐；氢气压缩机，与含油氢气缓冲罐连接；氢气淋洗塔，与氢气压缩机连接，氢气淋洗塔还设置有入口用于通入多晶硅生产过程中的含尘氢气，氢气淋洗塔用于使用通入的氯硅烷作为淋洗液进行淋洗；第一过滤器，与氢气淋洗塔的塔釜连接，第一过滤器用于进行过滤，得到过滤后的氯硅烷。上述系统避免了含尘氢气中的硅尘对于氢气压缩机的磨损损坏，解决了长时间运行后的氢气压缩机的维护困难的问题，且该系统可以同时处理含尘氢气和含油氢气，得到的回收氢气的纯度大大提高，减少氢气损耗和电解槽开启台数，提高系统平稳性，进而提高再利用氢气制备得到的多晶硅的纯度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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